[实用新型]改进蒸发舟有效
申请号: | 201721920906.0 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN208104520U | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
发明(设计)人: | 严佐毅;刘文卿;张龙;张丽 | 申请(专利权)人: | 安徽金美新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 李鑫 |
地址: | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发舟 复合涂层 钨舟 钼舟 金属溶液滴 改进 多层结构 金属溶液 顺序组合 容置槽 凹坑 涂覆 舟体 变形 腐蚀 | ||
本专利提出了一种改进蒸发舟,所述蒸发舟包括容置槽,所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层,所述的复合涂层由若干不同的材料按一定顺序组合而成,本专利所述的改进蒸发舟可以防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑,同时可以防止金属溶液腐蚀舟体,延长蒸发舟的寿命。
技术领域
本发明涉及蒸发器皿的改进,尤其涉及一种改进蒸发舟。
背景技术
蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。根据使用用途的不同,其成分配方也不一样。所涉及到的材料有氮化硼,二硼化钛,氮化铝,氧化铝,氧化锆,碳化硅,氮化硅等多种金属非金属化合物。
目前,真空蒸镀经常采用钼舟或钨舟,在镀高熔点金属时,存在着如下缺点:送丝时,金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成变形或形成凹坑。
发明内容
本发明提出一种改进蒸发舟,解决了现有技术中的问题。
本发明的技术方案是这样实现的:
改进蒸发舟,所述蒸发舟包括容置槽,所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟包括本体,所述本体下部涂有防护层,所述本体上部涂有复合层,所述复合层由若干材料按顺序叠加而成。
作为本发明的优选方案,所述容置槽左右两端对称连接有连接板。
作为本发明的优选方案,所述连接板外侧连接有延伸支架板。
作为本发明的优选方案,所述复合层厚度为A,其中100μm≤A≤1mm。
作为本发明的优选方案,所述复合层包括N层叠加,其中2≤N≤4,所述复合层中的每一层为氮化硼、氧化锆、WB2、TiB2、ZrB2、NbB2、HfB2、TaB2、TiC、ZrC、NbC、HfC和/或TaC。
作为本发明的优选方案,所述防护层为碳化钼和硼化钨中的一种。
有益效果
本发明提出了一种改进蒸发舟,所述蒸发舟包括容置槽,所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟包括本体,所述本体下部涂有防护层,所述本体上部涂有复合层。本发明结构简单,通过在蒸发舟本体上涂覆复合层,防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的立体示意图;
图2为图1所示本发明剖面结构示意图。
容置槽1,防护层11,本体12,复合层13,连接板2,延伸支架板3。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1,图2所示,改进蒸发舟,蒸发舟包括容置槽1,蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,蒸发舟包括本体12,本体12下部涂有防护层11,本体12上部涂有复合层13。
容置槽1左右两端对称连接有连接板2。
连接板2外侧连接有延伸支架板3。
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