[实用新型]过渡台车和光罩检查机

说明书

本实用新型公开了一种过渡台车和光罩检查机。过渡台车用于在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩，过渡台车包括：本体、机械手臂和承载装置。本体包括相对的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁和第二侧壁围成容纳腔。机械手臂设置于容纳腔内，并能够沿第一方向移动以将光罩自光罩搬运车取至过渡台车。承载装置用于承载搬运至过渡台车的光罩，并能够沿与第一方向垂直的第二方向移动以将光罩传输至检查台。本实用新型实施方式的过渡台车和光罩检查机，对于高度固定的光罩搬运车，通过高度可调的过渡台车可实现在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩完成交互，可应对多种不同型号的曝光机的需求。

技术领域

本实用新型涉及搬运设备，特别是一种过渡台车和光罩检查机。

背景技术

对于某些型号的曝光机，需要使用特定的光罩搬运车搬运光罩，然而特定的光罩搬运车无法与当前的光罩检查机进行交互，无法对光罩进行检测。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型需要提供一种过渡台车和光罩检查机。

本实用新型实施方式的过渡台车，用于在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩，所述光罩搬运车的高度固定，所述过渡台车包括：

本体，所述本体包括相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁围成容纳腔；

机械手臂，所述机械手臂设置于所述容纳腔内，并能够沿第一方向移动以将所述光罩自所述光罩搬运车取至所述过渡台车；和

承载装置，用于承载搬运至所述过渡台车的所述光罩，并能够沿与所述第一方向垂直的第二方向移动以将光罩传输至所述检查台。

本实用新型实施方式的光罩检查机，所述光罩检查机包括过渡台车和检查台,所述过渡台车用于在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩，所述光罩搬运车高度固定，所述过渡台车包括:

本体，所述本体包括相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁围成容纳腔；

机械手臂，所述机械手臂设置于所述容纳腔内，并能够沿第一方向移动以将所述光罩自所述光罩搬运车取至所述过渡台车；和

承载装置，用于承载搬运至所述过渡台车的所述光罩，并能够沿与所述第一方向垂直的第二方向移动以将光罩传输至所述检查台。

本实用新型实施方式的过渡台车和光罩检查机，对于高度固定的光罩搬运车，通过高度可调的过渡台车可实现在检查台与光罩搬运车之间搬运光罩完成交互，可应对多种不同型号的曝光机的需求。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型实施方式的光罩检查机的平面示意图。

图2是本实用新型实施方式的机械手臂的平面示意图。

图3是本实用新型实施方式的过渡台车的平面示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。