[实用新型]硅片扩散石英舟装卸机

权利要求书

1.一种硅片扩散石英舟装卸机，包括机座，其特征在于：在机座上设置有两个石英舟上料轨道和若干个花篮上料轨道，石英舟上料轨道和花篮上料轨道并排设置，且在石英舟上料轨道和花篮上料轨道上方设置有水平滑轨，在水平滑轨上设置有取片机械手，取片机械手用于将硅片从花篮中或者石英舟中取出再放入花篮或者石英舟中，取片机械手可在水平滑轨上滑动，所述石英舟上料轨道分别位于机座的两侧，花篮上料轨道位于两个石英舟上料轨道之间。

2.根据权利要求1所述的硅片扩散石英舟装卸机，其特征在于：所述石英舟上料轨道包括限位导轨，限位导轨上设置有与之配合的石英舟底座，石英舟底座用于装载石英舟，石英舟底座的下方设置丝杠螺母以及相配合的丝杆，丝杠与石英舟底座上装载的石英舟的外边框的水平距离在5～10cm,在丝杆以及丝杠螺母上涂抹有润滑液。

3.根据权利要求2所述的硅片扩散石英舟装卸机，其特征在于：所述石英舟底座上料轨道上方还设置有夹紧机构，所述夹紧机构包括两个气缸、两个侧板以及固定在水平轨道上的固定架，侧板上设置有等间距的硅片槽，侧板固定设置在气缸的端部，由气缸带动前后移动，气缸固定在固定架上。

4.根据权利要求3所述的硅片扩散石英舟装卸机，其特征在于：花篮上料轨道包括两个滑轨，滑轨上设置有一个花篮底座，花篮底座可沿滑轨滑动，在花篮底座上设置有两个花篮工位，且每个花篮工位上均设置夹紧气缸，用于将花篮与花篮底座夹紧。

5.根据权利要求4所述的硅片扩散石英舟装卸机，其特征在于：所述水平滑轨内部包含一个齿条，所述取片机械手上设置有齿轮，齿轮由电机带动转动，齿轮与齿条啮合，且齿条或者齿轮的齿牙均倾斜设置。