[发明专利]平坦加工装置

权利要求书

1.一种平坦加工装置，

具有平坦加工部并且具有主驱动部，该平坦加工部具备：第1保持单元，对被加工物或至少在表面具有催化剂层的催化体中的一方进行保持；第2保持单元，保持所述被加工物或所述催化体的另一方，使该另一方的表面抵接或接近所述被加工物或所述催化体的一方的表面；以及引导部件，能够使所述第2保持单元沿与所述被加工物或所述催化体的另一方的表面平行的方向至少移动能够通过催化反应而平坦化的量，所述主驱动部具有至少一个配重部，并且使所述平坦加工部的所述第2保持单元与所述配重部分别移动，以使由它们移动时的反作用力所产生的起振力作为整体而减少。

2.一种平坦加工装置，

具有平坦加工部并且具有主驱动部，该平坦加工部具备：第1保持单元，对被加工物或至少在表面具有催化剂层的催化体中的一方进行保持；第1驱动单元，使所述第1保持单元在所述被加工物或所述催化体的一方的表面内绕与该表面交叉的轴旋转；第2保持单元，保持所述被加工物或所述催化体的另一方，使该另一方的表面抵接或接近所述被加工物或所述催化体的一方的表面；以及引导部件，能够使所述第2保持单元沿与所述被加工物或所述催化体的另一方的表面平行的方向至少移动能够通过催化反应而平坦化的量，所述主驱动部具有至少一个配重部，并且使所述平坦加工部的所述第2保持单元与所述配重部分别移动，以使由它们移动时的反作用力所产生的起振力作为整体而减少。

3.一种平坦加工装置，

具有平坦加工部并且具有主驱动部，该平坦加工部具备：第1保持单元，对被加工物或至少在表面具有催化剂层的催化体中的一方进行保持；第1驱动单元，使所述第1保持单元在所述被加工物或所述催化体的一方的表面内绕与该表面交叉的轴旋转；第2保持单元，保持所述被加工物或所述催化体的另一方，使该另一方的表面位于与所述被加工物或所述催化体的一方的表面对置的位置；引导部件，能够使所述第2保持单元沿与所述被加工物或所述催化体的另一方的表面平行的方向至少往复移动能够通过催化反应而平坦化的量；以及第2驱动单元，使所述第1保持单元或所述第2保持单元向与所述被加工物或所述催化体的表面交叉的方向前进，使所述被加工物的表面与所述催化体的表面相互抵接或接近，所述主驱动部具有至少一个配重部，并且使所述平坦加工部的所述第2保持单元与所述配重部分别移动，以使由它们移动时的反作用力所产生的起振力作为整体而减少。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的平坦加工装置，其中，

所述主驱动部以其轴体为中心，将所述第2保持单元与所述配重部向周向相互隔开间隔地配置2个以上，使所述第2保持单元以及所述配重部向内外方向同时往复移动。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的平坦加工装置，其中，

所述主驱动部使所述第2保持单元与所述配重部在同一平面上彼此以相反的相位向相反方向移动。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的平坦加工装置，其中，

所述主驱动部使所述第2保持单元与所述配重部在同一直线上彼此以相反的相位向相反方向移动。

7.如权利要求1～6中的任一项所述的平坦加工装置，其中，

所述配重部是具备平坦加工的功能的其他平坦加工部。

8.如权利要求5～7中的任一项所述的平坦加工装置，其中，

所述主驱动部具有：驱动马达；以及一对轴部，设于从该驱动马达的输出轴的轴心向径向离开相同量的相互对称的位置，并与输出轴的旋转一起旋转移动，所述第2保持单元或所述配重部分别与所述一对轴部协动地往复移动。