[发明专利]一种光谱仪及光谱检测设备

权利要求书

1.一种光谱仪，其特征在于，包括：

空间滤波器件、分光器件、设置于所述分光器件的光波输入光路上的准直组件、以及设置于所述分光器件的光波输出光路上的聚焦组件、传感器；其中，所述准直组件设置于所述空间滤波器件和所述分光器件之间，所述聚焦组件设置于所述分光器件和所述传感器之间；

所述空间滤波器件，用于对探头输出的光波空间滤波，并以预定散射角度射出；

所述准直组件，用于对所述空间滤波器输出的光波进行准直，并输出；

所述分光组件，用于对所述准直组件输出的光波按照波长进行衍射，并输出；

所述聚焦组件，用于将所述分光组件输出的光波聚焦分光，并输出；

所述传感器用于接收所述聚焦组件输出的光波，并生成对应的光谱；

其中，所述准直组件还用于在第一焦距范围内调整所述分光器件的光波入射光路上的光波的焦距，所述准直组件的入射面与出射面之间的距离小于所述准直组件的最小系统焦距；和/或，所述聚焦组件还用于在第二焦距范围内调整所述分光器件的光波出射光路上的光波的焦距，所述聚焦组件的入射面与出射面之间的距离小于所述聚焦组件的最小系统焦距。

2.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述分光器件包括光栅。

3.根据权利要求2所述的光谱仪，其特征在于，所述光栅包括平面光栅、全息体光栅。

4.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述准直组件包括：准直摄远透镜组或准直摄远镜头。

5.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述聚焦组件包括：聚焦摄远透镜组或聚焦摄远镜头。

6.根据权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述空间滤波器件包括狭缝。

7.一种光谱检测设备，其特征在于，包括：

探头和如权利要求1-6任一项所述的光谱仪；

所述探头用于向被检测样品发射光波，并接收所述被检测样品的反射光波，并将所述反射光波发射至所述光谱仪。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述探头包括：光波发射器、二向色片、准直器件、滤波组件以及聚焦器件；

所述光波发射器用于向所述二向色片发射平行光波；

所述二向色片用于将所述光波发射器发射的平行光波反射至所述准直器件；

所述准直器件用于将所述二向色片反射的平行光波聚焦并透射至所述被检测样品；

所述准直器件还用于接收所述被检测样品的反射光波，并将所述反射光波准直后透射至所述二向色片；

所述二向色片还用于透射所述准直器件透射的光波至所述滤波组件；

所述滤波组件用于对所述二向色片透射的光波进行滤波，并透射至所述聚焦器件；

所述聚焦器件用于对所述滤波组件透射的光波进行聚焦，并透射至所述光谱仪。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述滤波组件包括至少一个滤波片。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述滤波片的带通范围的最小值大于所述光波发射器发射的平行光波的最大波长。