[发明专利]更换装置

权利要求书

1.一种更换装置，用于将光罩从第一收纳装置更换到第二收纳装置，其特征在于，所述更换装置包括：

第一承载装置，所述第一承载装置用于承载所述第一收纳装置，所述第一收纳装置收纳有所述光罩；

第二承载装置，所述第二承载装置用于承载所述第二收纳装置；和

抓取装置，所述抓取装置用于抓取所述第一收纳装置中的所述光罩并用于将所述光罩放置到所述第二收纳装置中；

所述第一承载装置包括支架和承载部件，所述承载部件用于承载所述第一收纳装置，所述支架承载所述承载部件和用于移动所述承载部件，所述承载部件包括固定件和固定检测单元，所述固定件用于固定所述第一收纳装置，所述固定检测单元用于确定所述第一收纳装置是否被固定。

2.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述更换装置包括信息识别装置，所述信息识别装置用于识别所述光罩并获得所述光罩的信息，所述光罩的信息用于辅助所述抓取装置抓取所述光罩。

3.如权利要求2所述的更换装置，其特征在于，所述信息识别装置包括条形码识别传感器。

4.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述承载部件可翻转，所述第一承载装置包括翻转检测单元，所述翻转检测单元用于确定所述承载部件是否完成翻转。

5.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述更换装置包括第一位置检测单元，所述第一位置检测单元用于检测所述承载部件的位置。

6.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述抓取装置包括导轨和抓取部件，所述抓取部件用于抓取所述光罩，所述抓取部件可移动地设置在所述导轨上。

7.如权利要求6所述的更换装置，其特征在于，所述抓取装置包括抓取检测单元，所述抓取检测单元用于获取所述抓取部件的位置。

8.如权利要求6所述的更换装置，其特征在于，所述抓取装置根据所述光罩的信息调整所述抓取部件抓取所述光罩的位置。

9.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述更换装置包括第二位置检测单元，所述第二位置检测单元用于检测所述第二承载装置的位置。

10.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述第二承载装置包括用于承载所述第二收纳装置的台车。

11.如权利要求1所述的更换装置，其特征在于，所述更换装置包括清洁装置，所述清洁装置用于清洁所述光罩。