[发明专利]加热装置及板状部件的制造方法

权利要求书

1.一种加热装置，是将板状的加热对象部件加热的装置，其特征在于，

具备：

加热器，形成有具有包含上述加热对象部件的面的大小的表面，发出给予上述加热对象部件的热；以及

支承部件，是支承上述加热对象部件的面的支承部件，当上述加热对象部件被支承着时，不使上述加热对象部件的面和上述支承部件产生直接的热传递，以将上述表面与上述加热对象部件的面之间保持为存在流体且上述流体不对流的预定间隔的方式，支承上述加热对象部件；

上述加热器具有：

加热源，输入外部能量而变换为热；以及

夹具，是形成有上述表面的夹具，在避免成为发热原因的电磁波被直接照射在上述加热对象部件上的同时，从上述加热源受热而将热向存在于上述预定的间隔中的上述流体传递，

上述加热源和上述夹具是分离的。

2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

上述夹具构成为，能够在处于与上述加热源对置的对置位置的状态与不在上述对置位置的状态之间移动。

3.一种加热装置，是将板状的加热对象部件加热的装置，其特征在于，

具备：

加热器，形成有具有包含上述加热对象部件的面的大小的表面，发出给予上述加热对象部件的热；以及

支承部件，是支承上述加热对象部件的面的支承部件，当上述加热对象部件被支承着时，不使上述加热对象部件的面和上述支承部件产生直接的热传递，以将上述表面与上述加热对象部件的面之间保持为存在流体且上述流体不对流的预定的间隔的方式，支承上述加热对象部件；

上述加热器具有：

加热源，输入外部能量而变换为热；以及

夹具，是形成有上述表面的夹具，从上述加热源受热而将热向存在于上述预定的间隔中的上述流体传递；

上述夹具构成为，能够在处于与上述加热源对置的对置位置的状态与不处于上述对置位置的状态之间移动，

上述加热源和上述夹具是分离的。

4.如权利要求2或3所述的加热装置，其特征在于，

具备在上述夹具不处于上述对置位置的状态下、将上述加热对象部件在能够从上述加热源受热的位置保持的保持工具。

5.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，

上述支承部件被设置在上述加热器的上述表面上。

6.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，

具备：

腔室，容纳上述夹具及上述支承部件；以及

气体供给部，向上述腔室内供给惰性气体或还原性气体；

存在于上述预定的间隔中的上述流体是上述惰性气体或上述还原性气体。

7.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，

上述加热源由配置在容纳上述夹具及上述支承部件的腔室的外侧的红外线灯构成。

8.如权利要求1或3所述的加热装置，其特征在于，

具备控制装置，是控制来自上述加热器的发热量的控制装置，构成为，根据上述加热对象部件的温度控制来自上述加热器的发热量。

9.一种板状部件的制造方法，其特征在于，

具备：

加热对象部件提供工序，向权利要求1～8中任一项所述的加热装置提供板状的加热对象部件；

支承工序，用上述支承部件支承上述加热对象部件；以及

加热工序，用上述加热器将上述加热对象部件加热，制造板状部件。

10.一种板状部件的制造方法，是将板状的加热对象部件加热来制造板状的部件的方法，其特征在于，具备：

支承工序，以将发出给予上述加热对象部件的热的发热部与上述加热对象部件的面之间保持为存在流体且上述流体不对流的预定的间隔、并且不发生从上述发热部向上述加热对象部件的面的直接的热传递的方式，支承上述加热对象部件；以及

加热工序，将由上述发热部发出的热在避免作为成为发热原因的电磁波直接照射到上述加热对象部件上的同时，经由上述流体向上述加热对象部件传递，制造板状部件。