[发明专利]基板分析用管嘴及基板分析方法

权利要求书

1.一种基板分析用管嘴，其从前端将分析液送出至基板上，且在以所送出的分析液来扫描基板表面之后抽吸并回收分析液，其中，

所述基板分析用管嘴由三重管所构成，该三重管由送出及抽吸分析液的配管、以包围要扫描的分析液的方式设置于配管的外周的第一外管、以及设置于第一外管的外周侧的第二外管所构成；

所述基板分析用管嘴具有：第一排气装置，其将配管与第一外管之间作为第一排气路径；以及第二排气装置，其将第一外管与第二外管之间作为第二排气路径，

所述第一排气装置可将所述第一排气路径形成为减压环境，且所述第二排气装置可将所述第二排气路径形成为减压环境。

2.一种基板分析方法，其是使用根据权利要求1所述的基板分析用管嘴来分析基板的方法，其中，

从配管对基板送出分析液，且在一边通过第二排气装置进行排气而将所述第二排气路径形成为减压环境，一边以所送出的分析液来扫描基板表面之后，停止第二排气装置而解除所述第二排气路径的减压，且一边通过第一排气装置进行排气而将所述第一排气路径形成为减压环境，一边将包含分析对象物的分析液抽吸至配管并回收。