[发明专利]卷取式成膜装置及卷取式成膜方法在审
| 申请号： | 201780004713.7 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108541226A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 坂本纯一;斋藤一也;清田淳也;武井应树;横山礼宽 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | B05C1/08 | 分类号： | B05C1/08;B05D1/28;B05D3/10;B05D3/12;B05D7/04;B05D7/24;B41F5/04;B41F17/10;B41M1/02;B41M1/10;B41M1/28;B41M1/30;B65H20/02;C23C14 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空容器 卷取 锂源 成膜装置 行进机构 转印图案 成膜面 熔融 锂层 减压状态 图案转印 热损伤 成膜 行进 配置 | ||
1.一种卷取式成膜装置，具有：
真空容器，其能够维持减压状态；
膜行进机构，其能够在所述真空容器内使膜行进；
锂源，其能够在所述真空容器内对锂进行熔融；以及
第一辊，其配置在所述膜的成膜面和所述锂源之间，并具有从所述锂源接收熔融的所述锂的转印图案，一边旋转一边将与所述转印图案对应的锂层的图案转印到所述成膜面。
2.根据权利要求1所述的卷取式成膜装置，其中，
还具有：第二辊，其隔着所述膜与所述第一辊相向。
3.根据权利要求1或2所述的卷取式成膜装置，其中，
所述锂源具有：
熔融容器，其收容熔融的所述锂，所述锂的熔融面与所述第一辊相接；以及
刮刀，其对从所述熔融容器供给到所述第一辊的所述锂的厚度进行控制。
4.根据权利要求1或2所述的卷取式成膜装置，其中，
所述锂源具有：
第三辊，其与所述第一辊相向；
熔融容器，其收容熔融的所述锂，所述锂的熔融面与所述第三辊相接；以及
刮刀，其对从所述熔融容器供给到所述第三辊的所述锂的厚度进行控制。
5.根据权利要求1或2所述的卷取式成膜装置，其中，
所述锂源具有：
第三辊，其与所述第一辊相向；
第四辊，其与所述第三辊相向；以及
熔融容器，其收容熔融的所述锂，所述锂的熔融面与所述第四辊相接。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的卷取式成膜装置，其中，
在所述第一辊的上游还具有对所述膜的所述成膜面进行清洗的预处理机构。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的卷取式成膜装置，其中，
在所述第一辊的下游还具有在所述锂层的表面形成保护层的保护层形成机构。
8.根据权利要求7所述的卷取式成膜装置，其中，
在所述真空容器内还具有对所述保护层形成机构进行隔离的隔离板。
9.一种卷取式成膜方法，包括以下步骤：
在能够维持减压状态的真空容器内使膜行进；
将熔融的锂供给到形成了转印图案的第一辊；以及
在使所述第一辊旋转的同时，使与所述转印图案对应的锂层的图案接触于所述膜的成膜面，从而将所述锂层的图案转印到所述成膜面。
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