[发明专利]压力式流量控制装置和流量自诊断方法

权利要求书

1.一种压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力式流量控制装置具备：

节流部；

控制阀，所述控制阀设置于所述节流部的上游侧；

上游压力检测器，所述上游压力检测器对所述节流部和所述控制阀之间的流路的压力进行检测；

下游压力检测器，所述下游压力检测器对所述节流部的下游侧流路的压力进行检测；和

控制器，所述控制器具有流量自诊断功能，所述自诊断功能利用所述控制阀和所述节流部之间的流路的压力下降数据和基准压力下降数据对流量控制进行诊断，

所述下游压力检测器的下游侧设置有隔断阀，其中，

执行所述流量自诊断功能时，向所述控制阀和所述隔断阀发出关闭命令，

所述控制器进行如下操作：

关闭所述控制阀，

利用关闭所述控制阀后的所述上游压力检测器和所述下游压力检测器的输出判定是否满足规定的临界膨胀条件，

利用满足所述规定的临界膨胀条件的期间取得的所述压力下降数据对流量控制进行诊断，

在发出所述关闭命令时，关闭所述控制阀之后经过规定时间后关闭所述隔断阀，

满足所述规定临界膨胀条件的期间取得的所述压力下降数据包括：向所述隔断阀发出所述关闭命令之后到关闭所述隔断阀之前取得的压力下降数据；和关闭所述隔断阀且下游压力上升后取得的压力下降数据。

2.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述控制阀是压电元件驱动型控制阀，所述隔断阀是流体驱动阀，所述关闭命令向所述控制阀和所述隔断阀同时发出。

3.根据权利要求1或2所述的流量控制装置，其特征在于，所述压力下降数据通过以预先设定的采样频率对来自所述上游压力检测器的输出进行采样而获得，基于从多个所述压力下降数据获得的规定函数的系数和作为所述基准压力下降数据预先存储的基准系数的比较而对流量控制进行诊断。

4.根据权利要求1或2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力下降数据通过以预先设定的采样频率对来自所述上游压力检测器的输出进行采样而获得，基于满足所述规定的临界膨胀条件的期间获得的样本数量，决定和所述基准压力下降数据的比较方式。

5.根据权利要求1或2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力下降数据通过以预先设定的采样频率对来自所述上游压力检测器的输出进行采样而获得，基于满足所述规定的临界膨胀条件的期间获得的样本数量，更新所述预先设定的采样频率。

6.根据权利要求1或2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，

还具备对所述节流部和所述控制阀之间的温度进行检测的温度检测器，

所述控制器基于来自所述上游压力检测器、所述下游压力检测器和所述温度检测器的输出，以通过所述节流部的流量成为设定流量的方式对所述控制阀进行控制。

7.根据权利要求6所述的压力式流量控制装置，其特征在于，基于流过所述节流部的气体的种类和从所述温度检测器输出的温度中的至少任意一个而决定所述规定的临界膨胀条件。

8.根据权利要求1或2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述控制器基于关闭所述控制阀时的流量或上游压力，对所述压力下降数据进行补正后将其和所述基准压力下降数据进行比较。