[发明专利]感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法在审
申请号: | 201780004863.8 | 申请日: | 2017-08-17 |
公开(公告)号: | CN108475020A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 赖末友裕;中村光孝;井上泰平;平田竜也;佐佐木隆弘 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/037 | 分类号: | G03F7/037;C08G73/10 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 聚酰亚胺前体 质量份 负型感光性树脂组合物 感光性树脂组合物 固化浮雕图案 光聚合引发剂 聚苯乙烯换算 耐化学药品性 凝胶渗透色谱 聚酰胺酸盐 聚酰胺酸酯 重均分子量 酰亚胺化率 低温固化 树脂层 制造 | ||
1.一种负型感光性树脂组合物,其包含:
(A)聚酰亚胺前体:100质量份;和
(B)光聚合引发剂:0.1质量份~20质量份,
所述(A)聚酰亚胺前体为下述通式(1)所示的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐,
式(1)中,X1为碳数6~40的四价有机基团,Y1为碳数6~40的二价有机基团,n为2~50的整数,并且R1和R2各自独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的基团、或下述通式(3)所示的基团,其中,R1、R2不同时为氢原子,
式(2)中,R3、R4和R5各自独立地为氢原子或碳数1~3的一价有机基团,并且m为2~10的整数,
式(3)中,R6、R7和R8各自独立地为氢原子或碳数1~3的有机基团,并且m2为2~10的整数,
所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。
2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1为选自下述通式(4)~(6)中的至少1种以上的四价有机基团,
所述通式(1)中,Y1为下述通式(7)所示的基团、选自下述通式(8)或下述通式(9)中的至少1种以上的二价有机基团,
式(7)中,R9~R12为氢原子或碳数1~4的一价脂肪族基团,彼此可以不同也可以相同,
式(9)中,R13~R14各自独立地表示氟原子或三氟甲基、或甲基。
3.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(6),Y1包含所述通式(8)。
4.根据权利要求3所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且13000以下。
5.根据权利要求4所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足10000。
6.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(6),Y1包含所述通式(7)。
7.根据权利要求6所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且13000以下。
8.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(5),Y1包含所述通式(8)。
9.根据权利要求8所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且13000以下。
10.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(5),Y1包含选自由所述通式(7)和(9)组成的组中的至少一者。
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