[发明专利]感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法在审

专利信息
申请号: 201780004863.8 申请日: 2017-08-17
公开(公告)号: CN108475020A 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 赖末友裕;中村光孝;井上泰平;平田竜也;佐佐木隆弘 申请(专利权)人: 旭化成株式会社
主分类号: G03F7/037 分类号: G03F7/037;C08G73/10
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 聚酰亚胺前体 质量份 负型感光性树脂组合物 感光性树脂组合物 固化浮雕图案 光聚合引发剂 聚苯乙烯换算 耐化学药品性 凝胶渗透色谱 聚酰胺酸盐 聚酰胺酸酯 重均分子量 酰亚胺化率 低温固化 树脂层 制造
【权利要求书】:

1.一种负型感光性树脂组合物,其包含:

(A)聚酰亚胺前体:100质量份;和

(B)光聚合引发剂:0.1质量份~20质量份,

所述(A)聚酰亚胺前体为下述通式(1)所示的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐,

式(1)中,X1为碳数6~40的四价有机基团,Y1为碳数6~40的二价有机基团,n为2~50的整数,并且R1和R2各自独立地为氢原子、或下述通式(2)所示的基团、或下述通式(3)所示的基团,其中,R1、R2不同时为氢原子,

式(2)中,R3、R4和R5各自独立地为氢原子或碳数1~3的一价有机基团,并且m为2~10的整数,

式(3)中,R6、R7和R8各自独立地为氢原子或碳数1~3的有机基团,并且m2为2~10的整数,

所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。

2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1为选自下述通式(4)~(6)中的至少1种以上的四价有机基团,

所述通式(1)中,Y1为下述通式(7)所示的基团、选自下述通式(8)或下述通式(9)中的至少1种以上的二价有机基团,

式(7)中,R9~R12为氢原子或碳数1~4的一价脂肪族基团,彼此可以不同也可以相同,

式(9)中,R13~R14各自独立地表示氟原子或三氟甲基、或甲基。

3.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(6),Y1包含所述通式(8)。

4.根据权利要求3所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且13000以下。

5.根据权利要求4所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足10000。

6.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(6),Y1包含所述通式(7)。

7.根据权利要求6所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且13000以下。

8.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(5),Y1包含所述通式(8)。

9.根据权利要求8所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且13000以下。

10.根据权利要求2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述通式(1)中,X1包含所述通式(5),Y1包含选自由所述通式(7)和(9)组成的组中的至少一者。

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