[发明专利]生物传感装置及其制造方法

权利要求书

1.一种生物传感装置，其包括单元体，

所述单元体具备：

源极以及漏极，彼此隔开配置；

敏感膜，其构成源极与漏极之间的通道；

栅极，其与敏感膜隔开配置；以及

坝状结构体，围绕敏感膜边缘的至少一部分，由绝缘体构成，

所述坝状结构体收纳前体溶液，所述前体溶液为所述敏感膜被固化之前的物质。

2.根据权利要求1所述的生物传感装置，其中，

所述敏感膜包括碳纳米管、石墨烯、二硫化钼或者磷烯。

3.根据权利要求1所述的生物传感装置，其中，

作为所述坝状结构体的至少一部分，所述坝状结构体中与从源极朝向漏极的方向垂直的部分，仅配置在源极以及漏极的上方而不超出源极以及漏极。

4.根据权利要求3所述的生物传感装置，其中，

与从源极朝向漏极的方向垂直的方向上的所述坝状结构体的宽度小于源极的宽度或漏极的宽度。

5.根据权利要求1所述的生物传感装置，其中，

作为所述坝状结构体的至少一部分，所述坝状结构体中与从源极朝向漏极的方向平行的部分的一端配置在源极上，另一端配置在漏极上。

6.根据权利要求5所述的生物传感装置，其中，

与从源极朝向漏极的方向平行的方向上的所述坝状结构体的长度大于源极和漏极之间的隔开距离。

7.根据权利要求1至6的任一项所述的生物传感装置，其中，

所述敏感膜在相对临近所述坝状结构体的区域中的固化密度大于相对远离所述坝状结构体的区域中的固化密度。

8.根据权利要求1所述的生物传感装置，其中，

所述单元体进一步具备附着在敏感膜上并能够与目标物质结合的受体。

9.根据权利要求8所述的生物传感装置，其中，

所述敏感膜由电阻能够根据受体以及与受体结合的目标物质而发生变化的物质构成。

10.根据权利要求8所述的生物传感装置，其中，

所述受体通过官能团被附着在所述敏感膜上，所述受体是选自酶底物、配体、氨基酸、肽、适体、蛋白质、核酸、脂质以及碳水化合物中的一种以上。

11.根据权利要求10所述的生物传感装置，其中，

所述官能团是选自胺基、羧基以及巯基中的至少一种。

12.根据权利要求8所述的生物传感装置，其中，

所述目标物质是选自蛋白质、肽、适体、核酸、低聚糖、氨基酸、碳水化合物、溶解气体、氧化硫气体、氧化氮气体、残留农药、重金属以及环境有害物质中的至少一种。

13.一种生物传感装置的制造方法，包括如下步骤：

准备结构体，所述结构体具有相互隔开配置的源极以及漏极；

形成坝状结构体，所述坝状结构体由绝缘体形成，配置成至少横跨源极和漏极之间的隔开区域并分别与源极和漏极相接；以及

在包括源极和漏极之间的隔开区域的至少一部分的坝状结构体内侧涂覆前体溶液后进行固化，从而在所述坝状结构体的内侧形成作为源极和漏极之间的通道的敏感膜。

14.根据权利要求13所述的生物传感装置的制造方法，其中，

所述敏感膜包括碳纳米管、石墨烯、二硫化钼或者磷烯。

15.根据权利要求13所述的生物传感装置的制造方法，其中，

作为所述坝状结构体的至少一部分，所述坝状结构体中与从源极朝向漏极的方向垂直的部分，仅配置在源极以及漏极的上方而不超出源极以及漏极。