[发明专利]真空泵

说明书

本发明提供一种用于降低装置(120)中的压力的真空泵(1)，真空泵(1)包括真空室(2)、包括槽(31)的转子(3)、叶片(4，41，42)、流体入口(5)、主流体出口(61)和副流体出口(62)。由与第一副出口点(621)接触的第一虚拟出口叶片(601)和在第一虚拟出口叶片(601)之后的第二虚拟出口叶片(602)限定的室壁的容积为由与第二主出口点(612)接触的第三虚拟出口叶片(603)和在第三虚拟出口叶片(612)之前的第四虚拟出口叶片(604)限定的室壁的容积的至少66％。主流体出口(61)包括适于在主流体出口(61)中的压力低于第一预定值的情况下对在主流体出口(61)与第一外侧流体区域(100)之间的流体连通进行密封的主阻挡器件(71)。

技术领域

本发明属于真空泵领域，该真空泵包括转子，该转子具有插入其中的一个或更多个叶片，转子又容纳在真空室中，在该真空室中，当转子运动时，在一个叶片或多个叶片与室壁之间形成子空间。

背景技术

真空泵通常包括泵室和容置在泵室内部的转子。该转子包括一个或更多个槽，使得叶片被至少部分地引入所述槽中的每个槽中。泵室容置该转子，但是泵室的内部容积大于由转子和叶片所占据的容积。因此，一个叶片或多个叶片具有一定的空间以在转子旋转时由于泵中提供的离心力或任何其他力而离开转子。但是真空室的该内部容积被设计成使得一个叶片或多个叶片交替地进出转子，从而使得在两个连续叶片与室壁的对应部分之间形成的室取决于转子的位置而具有可变容积。在单个叶片具有单个槽的情况下，槽允许离开转子的单个叶片位于两个径向相对的位置处，使得叶片将真空室划分为不同的室。位于室壁中的流体入口与压力意在被降低的装置流体连接，并且该流体入口在入口点处为真空室进给比如空气或任何其他气体的可压缩流体。由于该入口点是固定的，但叶片与转子一起运动，因此该入口点在转子旋转时进给不同的室。流体出口又位于室壁的出口点处，并且流体出口与诸如大气或者不同的装置的外侧流体区域流体连接。当该出口点处的压力大于外侧流体区域中的压力时，流体离开室。

当压力意在被降低的装置中的压力远非真空时，这些泵工作得相对较好，但是当该装置中的压力降低时，流体出口点处的压力可能低于室的外侧流体区域中的压力。因此，存在下述风险：来自外侧流体区域的流体通过流体出口点进入室，从而增加了与出口点流体连接的室中的压力，并且因此损害了该泵的效率。

发明内容

本发明借助于根据本发明所述的真空泵提供了针对该问题的解决方案。本发明的优选实施方式在本发明中描述。

在本发明的第一方面，本发明提供了一种用于对装置中的压力进行降低的真空泵，该真空泵包括：

真空室，真空室具有室壁，其中，室壁包括次要点和最大点，次要点为室壁与转子之间的距离最小处的室壁的的点，最大点为安置第一虚拟尺寸叶片的点，使得由第一虚拟尺寸叶片和由在第一虚拟尺寸叶片之前的第二虚拟尺寸叶片封围的容积最大；

转子，转子容置在真空室中，该转子包括至少一个槽；

至少一个叶片，每个叶片均被至少部分地引入转子的一个槽中；

至少一个流体入口，所述至少一个流体入口位于室壁的第一入口点与室壁的第二入口点之间，第一流体入口适于与该装置流体连通，在该装置中，压力意在被降低；以及

主流体出口，主流体出口位于室壁的第一主出口点与室壁的第二主出口点之间，主流体出口与真空泵的第一外侧流体区域流体连通；

副流体出口，副流体出口位于室壁的第一副出口点与室壁的第二副出口点之间，副流体出口与真空泵的第二外侧流体区域流体连通，第一副出口点与次要点之间的距离小于第一主出口点与次要点之间的距离；

其中，由与第一副出口点相接触的第一虚拟出口叶片和在第一虚拟出口叶片之后的第二虚拟出口叶片限定的室壁的容积大于由与第二主出口点相接触的第三虚拟出口叶片和在第三虚拟出口叶片之前的第四虚拟出口叶片限定的室壁的容积；