[发明专利]磁场生成器

说明书

本发明涉及一种方向性磁场生成器，该磁场生成器具有磁路，磁路包括：第一竖直轴线极性端(37)，布置在水平面上方；以及至少两个第二极性端(28A至28D)，对称地布置在所述水平面上，该生成器进一步包括线圈，线圈布置成使得连接两个极性端的每个磁路部分在至少一个线圈内部通过，这些线圈适于连接到用于使具有可调强度和选择的方向的电流在其中流通的电路。

本专利申请要求于2016年1月11日递交的第FR16/50184号法国专利申请的优先权权益，该法国专利申请的内容通过整体引用并入本文。

技术领域

本公开涉及磁场生成器的领域，更具体地，涉及一种生成具有可变强度和方向的磁场的装置。

背景技术

图1示出了具有期望被验证的特征的磁存储器单元1的示例。

存储器单元1形成在硅晶圆3上。硅晶圆3固定在测试设备的X、Y、Z定位装置(未示出)上。该装置能够以大约1微米的精度定位晶圆。存储器单元包括位于两个金属层部分7之间的导磁层部分5。金属层部分由在存储器单元的两侧、位于相同水平面中的接触件9延续。然而，在接触水平面之间可以存在几微米的差异。

为了测试存储器单元，测试探针11定位在接触件9上，测试探针11之间的距离D1为大约几百微米。具有可变强度和方向的磁场施加到存储器单元。测试探针之间根据磁场的强度和方向的电阻变化能够表征存储器单元1。

应该注意的是，为了定位测试探针11并建立磁场，只有硅晶圆上方的空间是可用的，晶圆下方的空间由定位装置使用。

因此，期望的是具有一种磁场生成器，该磁场生成器能够生成具有可变强度和方向的磁场，该生成器仍然完全位于晶圆的包含存储器单元的表面上方。

更通常地，期望的是，在具有可调方向的磁场中插入被布置在仅具有一个可用侧的晶圆上的组件以生成磁场。

用于在半个空间中生成磁场的已知装置不能独立于其他组件而调节磁场的每个竖直或水平分量，并且产生各种实现问题。

因此，期望的是，具有一种磁场生成器，该磁场生成器能够在半个空间中生成磁场，其中可独立地调节每个竖直和水平分量。

发明内容

因此，实施例提供一种具有可调方向的磁场的生成器，该生成器包括磁路，磁路包括：具有竖直轴线的第一极性端，布置在水平面上方；以及至少两个第二极性端，对称地布置在所述水平面上，该生成器进一步包括线圈，线圈布置成使得连接两个极性端的每个磁路部分在至少一个线圈内部行进，线圈能够连接到能够引导具有可变强度和选择的方向的电流从中穿过的电路。

根据实施例，每一对第二相邻极性端的极性端具有平行的竖直表面，平行的竖直表面关于包含竖直轴线的平面对称地布置。

根据实施例，第一极性端具有截头圆锥形状，截头圆锥具有圆形下表面，圆形下表面布置在所述水平面上方、在0.5至5mm范围内的高度处。

根据实施例，生成器包括四个第二极性端，四个第二极性端关于包含竖直轴线的两个正交平面对称。

根据实施例，每个极性端位于连接到框架的臂的端部。

根据实施例，与每个第二极性端关联的臂使得被线圈围绕的杆水平地延伸。

根据实施例，与第一极性端关联的臂连接到水平杆，水平杆连接到框架的相对侧的中部，线圈围绕水平杆的每一个半个杆布置。

根据实施例，与第一极性端关联的臂被线圈围绕。

根据实施例，生成器包括两个第二极性端，第一极性端和第二极性端中的每一个位于连接到杆的臂的端部，与第一极性端关联的臂连接到杆的中央，线圈围绕杆的每一个半个杆布置。

根据实施例，与第一极性端关联的臂被线圈围绕。