[发明专利]用于真空处理系统的供应接线导件

权利要求书

1.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：

导引布置(110)，包括多个连接元件(115)，其中所述连接元件(115)相对于彼此可调整角度；和

柔性管(120)，围绕所述导引布置(110)设置。

2.根据权利要求1所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)提供一弯曲半径R_b，R_b≤500mm。

3.根据权利要求1或2所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)包括金属或金属合金。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括第一导管(111)和第二导管(112)，所述第一导管(110)用于导引第一组供应接线(130A)，所述第二导管(112)用于导引第二组供应接线(130B)。

5.根据权利要求4所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括分离元件(118)，所述分离元件(118)将所述第一导管(111)的第一体积与所述第二导管(112)的第二体积分离。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括第三导管(113)，用于导引第三组供应接线(130C)。

7.根据权利要求6所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括分离元件(118)，所述分离元件(118)使第一导管(111)的第一体积、第二导管(112)的第二体积和第三导管的第三体积彼此分离。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)的第一端(110A)连接至所述柔性管(120)的第一端(120A)，并且其中所述导引布置(110)的第二端(110B)连接至所述柔性管(120)的第二端(120B)。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述多个连接元件的起始元件的位置相对于所述柔性管(120)的壁固定，和/或其中所述多个连接元件的最末元件的位置相对于所述柔性管(120)的壁固定。

10.根据权利要求9所述的供应接线导件(100)，其中所述起始元件藉由第一内部定心元件相对于所述柔性管(120)的壁固定，和/或其中所述最末元件藉由第二内部定心元件相对于所述柔性管(120)的壁固定。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)包括连接凸缘。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述多个连接元件(115)为经由中央布置的接头彼此连接的环状元件。

13.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：

导引布置(110)，包括多个连接环状元件，所述连接环状元件经由中央布置的接头彼此连接，使得所述连接环状元件相对于彼此可调整角度，其中所述连接环状元件提供用于第一组供应接线的第一导管(111)并且提供用于第二组供应接线的第二导管(112)，并且其中所述连接环状元件包括分离元件(118)，所述分离元件(118)将所述第一导管(111)的第一体积与所述第二导管(112)的第二体积分离；和

柔性金属管，围绕所述导引布置(110)设置，其中所述柔性管提供用于所述多条供应接线的气密壳体，并且其中所述柔性管(120)提供一弯曲半径R_b，R_b≤500mm。