[发明专利]烧结的非孔性阴极和包括其的溅射离子真空泵

权利要求书

1.一种具有平均原子质量W的非孔性阴极(22，22’)，所述阴极适合用作溅射离子泵(3)中的电极并且在所述阴极的化学组成中包含以下两种不同金属元素的烧结块体混合物，

i)具有原子质量W1的M1，M1的量为q1，q1表示为占所述阴极的原子总数Q的原子百分比，和

ii)具有原子质量W2的M2，M2的量为q2，q2表示为占所述阴极的原子总数Q的原子百分比，

所述化学组成以相对于原子总数Q按原子计小于3％的总量包含另外的不同于M1和M2的金属元素，

其中M1和M2二者均选自钛、钽、锆、铌、铪、稀土元素、镍或钼，q1、q2、W1和W2被选择成使得所述阴极的被限定为W＝W1*q1+W2*q2的原子质量在80amu至160amu的范围内。

2.根据权利要求1所述的阴极(22，22’)，其中所述阴极(22，22’)的平均原子质量W在100amu至160amu的范围内。

3.根据权利要求1所述的阴极(22，22’)，其中所述不同于M1和M2的金属元素选自铝、铜、钛、钽、锆、铌、钼、镍、稀土元素、铪、铁、钴、钒。

4.根据权利要求1所述的阴极(22，22’)，其中两种金属元素M1和M2二者均选自钛、钽和锆。

5.一种溅射离子泵系统(3)，包括至少一对根据前述权利要求中任一项所述的阴极(22，22’)作为活性泵送元件。