[发明专利]方法、涂覆装置和处理设备

权利要求书

1.一种用于处理固体颗粒的方法(100)，其包括：

在涂覆区域(803)和收集区域(805)中产生真空；

通过将电子引入以散装材料形式提供的固体颗粒中发射以散装材料形式提供的固体颗粒，其中所述固体颗粒以第一主传播方向(102e)发射穿过涂覆区域(803)进入收集区域(805)；

以第二主传播方向(104e)蒸发涂覆材料进入涂覆区域(803)，其中第一主传播方向(102e)和第二主传播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸发绕过收集区域(805)。

2.根据权利要求1所述的方法(100)，其还包括：在固体颗粒已经穿过涂覆区域(803)后，借助于收集装置(106)和/或借助于基板(504)将固体颗粒收集在收集区域(805)中。

3.根据权利要求1或2所述的方法(100)，其还包括：在固体颗粒发射期间在收集区域和处于大于真空的压力的区域之间输送固体颗粒。

4.根据权利要求1或2所述的方法(100)，其还包括：在从发射区域以第一主传播方向(102e)发射固体颗粒通过涂覆区域(803)进入收集区域(805)期间在发射区域(706)和处于大于真空的压力的区域之间输送固体颗粒。

5.根据权利要求1或2所述的方法(100)，用涂覆材料涂覆在涂覆区域(803)中的固体颗粒。

6.根据权利要求1或2所述的方法(100)，借助于恰好一个电子束源(704)或借助于多个电子束源(704)进行固体颗粒的发射和/或涂覆材料的蒸发。

7.一种处理设备，其包括：

带有涂覆区域(803)和收集区域(805)的真空室(802)；

固体颗粒源(102)，其被配置为通过将电子引入以散装材料形式提供的固体颗粒中发射以散装材料形式提供的固体颗粒，其中所述固体颗粒以第一主传播方向(102e)发射通过涂覆区域(803)进入收集区域(805)；

材料蒸汽源(104)，其被配置为以第二主传播方向(104e)将涂覆材料蒸发到涂覆区域(803)中；

第一主传播方向(102e)和第二主传播方向(104e)彼此成一角度延伸，使得材料蒸汽源(104)将涂覆材料蒸发绕过收集区域(805)。

8.根据权利要求7所述的处理设备，其还包括：收集装置(106)和/或基板输送装置(506)，它们在收集区域(805)中延伸。

9.根据权利要求8所述的处理设备，所述收集装置(106)被配置成将固体颗粒输送到真空室(802)外部的区域中。

10.根据权利要求7或8所述的处理设备，所述固体颗粒源(102)被配置为用于将要被发射到涂覆区域中的固体颗粒输送出真空室(802)外部的区域。

11.根据权利要求7或8所述的处理设备，所述固体颗粒源(102)和材料蒸汽源(104)包括恰好一个共同的电子束源；或所述固体颗粒源(102)和材料蒸汽源(104)各自包括至少一个电子束源(702)。