[发明专利]电弧蒸发装置

权利要求书

1.一种电弧蒸发装置，其特征在于包括：

棒状的靶材，具有作为轴向的其中之一端面的远端面和与该远端面的周缘连续地沿所述轴向延伸的侧面，通过电弧放电从所述远端面起熔解并蒸发；

电极，用于在与所述靶材的所述远端面之间放电；

电弧电源，通过向所述靶材与所述电极之间施加电压，使得在所述远端面与所述电极之间发生电弧放电；

靶材输送部，让所述靶材在所述远端面前进的输送方向上沿所述轴向移动；

接触部，在所述靶材的所述输送方向上的规定位置，呈可从与所述输送方向交叉的交叉方向接触于所述靶材的所述侧面的形状；

接触部驱动部，以使所述接触部从退避位置沿所述交叉方向进入到所述靶材被送入的搬送区域的方式让所述接触部移动，其中，所述退避位置是该接触部从所述侧面向所述交叉方向离开的位置；

密封板，覆盖所述靶材的所述远端面的周围，且相对于所述接触部配置在与所述靶材远端面的相反侧，

以及

检测部，在所述接触部的从所述退避位置向所述搬送区域的移动过程中，检测所述接触部是否接触于所述靶材的所述侧面，

所述接触部具有导电性，

所述接触部，通过在与所述靶材之间被施加电压的状态下接触于该靶材的所述侧面，从而使在由所述密封板覆盖了其周围的所述靶材的所述远端面与所述电极之间的电弧放电开始，

所述接触部驱动部具有如下结构：

具有绕中心轴旋转的驱动轴，所述中心轴从所述靶材的所述侧面向所述交叉方向离开而配置，并与所述轴向平行地延伸，

通过让固定于所述驱动轴的所述接触部借助所述驱动轴的旋转而旋转，以使所述接触部从该驱动轴的侧面向垂直于所述轴向的方向突出，从而令该接触部旋转以便从所述退避位置沿着所述交叉方向进入所述搬送区域。

2.一种电弧蒸发装置，其特征在于包括：

棒状的靶材，具有作为轴向的其中之一端面的远端面和与该远端面的周缘连续地沿所述轴向延伸的侧面，通过电弧放电从所述远端面起熔解并蒸发；

电极，用于在与所述靶材的所述远端面之间放电；

电弧电源，通过向所述靶材与所述电极之间施加电压，使得在所述远端面与所述电极之间发生电弧放电；

靶材输送部，让所述靶材在所述远端面前进的输送方向上沿所述轴向移动；

接触部，在所述靶材的所述输送方向上的规定位置，呈可从与所述输送方向交叉的交叉方向接触于所述靶材的所述侧面的形状；

接触部驱动部，以使所述接触部从退避位置沿所述交叉方向进入到所述靶材被送入的搬送区域的方式让所述接触部移动，其中，所述退避位置是该接触部从所述侧面向所述交叉方向离开的位置；

磁铁，配置在向所述靶材的半径方向离开的位置，产生所述靶材的侧面的远端附近的磁力线相对于该侧面的远端侧以锐角相交的磁场，

以及

检测部，在所述接触部的从所述退避位置向所述搬送区域的移动过程中，检测所述接触部是否接触于所述靶材的所述侧面，

所述接触部具有导电性，

所述接触部，通过在与所述靶材之间被施加电压的状态下接触于该靶材的所述侧面，从而使在电弧点与所述电极之间的电弧放电开始，所述电弧点是借助所述磁铁的磁力线而被推回所述远端面的范围内的电弧放电发生的点，

所述接触部驱动部具有如下结构：

具有绕中心轴旋转的驱动轴，所述中心轴从所述靶材的所述侧面向所述交叉方向离开而配置，并与所述轴向平行地延伸，

通过让固定于所述驱动轴的所述接触部借助所述驱动轴的旋转而旋转，以使所述接触部从该驱动轴的侧面向垂直于所述轴向的方向突出，从而令该接触部旋转以便从所述退避位置沿着所述交叉方向进入所述搬送区域。

3. 根据权利要求1或2所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述检测部具有：

电位测定部，测定所述接触部的电位；以及

判断部，在所述接触部的移动过程中，根据所述电位测定部测定的所述接触部的电位，判断所述接触部是否接触于所述靶材的所述侧面。

4.根据权利要求1或2所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述检测部具有：

判断部，在所述接触部从所述退避位置向所述搬送区域移动的过程中，基于所述电弧电源的输出的变化，判断所述接触部是否接触于所述靶材的所述侧面。