[发明专利]有源开口MEMS开关装置

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS开关，包括：

基板；

所述基板上的柱；

设置在所述基板上的第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，第一电极和第二电极定位在所述柱的第一侧，第三电极和第四电极定位在所述柱的与第一侧相对的第二侧；

第五电极，设置在所述基板上并且与所述柱电连通；

微加工梁，在其中心部分中封闭开口，所述柱设置在封闭的开口内；和

铰链，设置在所述封闭的开口内并且将所述微加工梁机械耦合到所述柱，

其中，所述微加工梁是导电梁。

2.根据权利要求1所述的MEMS开关，其中所述铰链具有第一厚度并且所述微加工梁具有大于所述第一厚度的第二厚度。

3.根据权利要求2所述的MEMS开关，其中所述第一厚度小于所述第二厚度的一半。

4.根据权利要求1所述的MEMS开关，其中所述微加工梁具有被配置为与所述基板电接触的第一端部、被配置为与所述基板电接触的第二端部、以及所述第一端部和所述第二端部之间的长度，并且其中所述铰链的长度与所述微加工梁的长度在相同的方向上。

5.根据权利要求1所述的MEMS开关，其中所述微加工梁具有被配置为与所述基板电接触的第一端部、被配置为与所述基板电接触的第二端部、以及所述第一端部和所述第二端部之间的长度，并且其中所述铰链的长度在与所述微加工梁的长度垂直的方向上。

6.根据权利要求1所述的MEMS开关，其中所述微加工梁和所述铰链由相同的材料形成。

7.一种制造微机电系统MEMS开关的方法，包括：

制造在基板上的柱；

制造耦合到所述柱的铰链；

制造在所述基板上的第一电极、第二电极、第三电极和第四电极，使得第一电极和第二电极定位在所述柱的第一侧，并且第三电极和第四电极定位在所述柱的与第一侧相对的第二侧；

制造第五电极，所述第五电极在所述基板上并且与所述柱电连通；以及

制造梁，所述梁在其中心部分中封闭开口，所述柱和所述铰链中的每个都设置在封闭的开口内，并且所述梁通过所述铰链耦合到所述柱，

其中，所述梁是导电梁。

8.根据权利要求7所述的方法，其中制造铰链和制造梁包括制造所述铰链以具有第一厚度并且制造所述梁以具有大于所述第一厚度的第二厚度。

9.根据权利要求8所述的方法，其中制造铰链和制造梁包括制造所述铰链以使所述第一厚度小于所述第二厚度的一半。

10.根据权利要求7所述的方法，其中制造铰链和制造梁包括将所述铰链的长度制造为与所述梁的长度在相同的方向上。

11.根据权利要求7所述的方法，其中制造铰链和制造梁包括将所述铰链的长度制造为与所述梁的长度基本上垂直。

12.根据权利要求7所述的方法，其中制造铰链和制造梁包括制造相同材料的铰链和梁。

13.根据权利要求7所述的方法，其中制造柱、铰链和梁包括执行少于三个电镀步骤。

14.根据权利要求7所述的方法，其中制造柱、铰链和梁包括使用少于三个牺牲层。