[发明专利]导电性层叠薄膜

说明书

提供同时满足优异的阻隔性和耐化学药品性的导电性层叠薄膜。本发明的导电性层叠薄膜(100)具有：基材(10)；在基材的一侧自该基材侧起依次设置的、包含ZnO、Al及SiO₂的第1氧化物层(20)及表面保护层(40)；以及设置于基材的另一侧的导电层(50)。1个实施方式中，导电性层叠薄膜在第1氧化物层与表面保护层之间还具有由SiO₂构成的第2氧化物层(30)。

技术领域

本发明涉及导电性层叠薄膜。更详细而言，本发明涉及在基材的一侧具有至少1个氧化物层、在相反侧具有导电层的层叠薄膜。

背景技术

以往，在图像显示装置(例如液晶显示装置、有机电致发光(EL)显示装置)、太阳能电池(例如薄膜型太阳能电池、薄膜太阳能电池)中使用阻隔薄膜。在这种阻隔薄膜的开发中，作为制膜速度快、折射率低、具有良好的阻气性的阻隔薄膜，提出了在Al-Zn-O(添加铝的氧化锌)膜中添加有SiO₂的透明氧化物膜(薄膜)(专利文献1)。另外，近年来以智能电话为代表，图像显示装置兼具触摸面板型输入装置的触摸面板型输入显示装置正在急剧增加。如果上述阻隔薄膜能够作为触摸面板用导电性薄膜使用，则装置的薄型化得以实现，是非常理想的。但是，上述透明氧化物膜的耐化学药品性(例如耐酸性、耐碱性)非常不充分，无法适用于导电性薄膜的导电层的图案化(代表性地为蚀刻)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-189657号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明是为解决上述以往的问题而作出的，其目的在于，提供同时满足优异的阻隔性和耐化学药品性的导电性层叠薄膜。

用于解决问题的方案

本发明的导电性层叠薄膜具有：基材；在该基材的一侧自该基材侧起依次设置的、包含ZnO、Al及SiO₂的第1氧化物层、及表面保护层；以及设置于该基材的另一侧的导电层。

1个实施方式中，上述导电性层叠薄膜在上述第1氧化物层与上述表面保护层之间还具有由SiO₂构成的第2氧化物层。

1个实施方式中，上述基材与构成上述表面保护层的树脂薄膜在150℃下加热90分钟后的热收缩率之差为0.4％以下。

1个实施方式中，上述第1氧化物层与上述表面保护层的150℃、90分钟的加热试验后的剥离力为1.5N/25mm以下。

1个实施方式中，上述第2氧化物层与上述表面保护层的150℃、90分钟的加热试验后的剥离力为1.5N/25mm以下。

1个实施方式中，上述导电层进行了图案化。

发明的效果

根据本发明的实施方式，通过在具有作为阻隔层而起作用的至少1个氧化物层和导电层的导电性层叠薄膜中在氧化物层的表面设置表面保护层，能够实现作为阻隔薄膜的优异的阻隔性和可适用于导电层的图案化(代表性地为蚀刻)的耐化学药品性。1个实施方式中，采用包含ZnO、Al及SiO₂的第1氧化物层与由SiO₂构成的第2氧化物层的层叠结构作为氧化物层，并且，在第2氧化物层的表面设置表面保护层，由此能够实现非常优异的阻隔性。

附图说明

图1为本发明的1个实施方式的导电性层叠薄膜的示意截面图。

具体实施方式