[发明专利]光模块有效
| 申请号： | 201780009338.5 | 申请日： | 2017-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN108603747B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 藁科祯久;铃木智史;笠森浩平;奥村亮介;港谷恭辅 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01J3/02;G01J3/45;G02B26/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模块 | ||
1.一种光模块，其特征在于，
具备：
具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；
第1干涉光学系统，其具有设置于所述可动部的第1可动镜以及位置固定的第1固定镜和第1分束器，并获得测量用的第1光的干涉波；和
第2干涉光学系统，其具有设置于所述可动部的第2可动镜以及位置固定的第2固定镜和第2分束器，并获得所述规定方向上的所述第1可动镜的位置检测用的第2光的干涉波，
所述第1干涉光学系统被构成为所述第1光在所述第1分束器与所述第1可动镜之间沿着所述规定方向往返m次，其中，m为自然数，
所述第2干涉光学系统被构成为所述第2光在所述第2分束器与所述第2可动镜之间沿着所述规定方向往返n次，其中，n为比所述m大的自然数。
2.如权利要求1所述的光模块，其特征在于，
所述m为1，所述n为2。
3.如权利要求1所述的光模块，其特征在于，
所述第2光为激光。
4.如权利要求2所述的光模块，其特征在于，
所述第2光为激光。
5.如权利要求1～4中任一项所述的光模块，其特征在于，
所述第1可动镜设置于所述规定方向上的所述可动部的一端部，
所述第2可动镜设置于所述规定方向上的所述可动部的另一端部。
6.如权利要求5所述的光模块，其特征在于，
还具备：
使所述第1光入射的第1光入射部；
使所述第1光的干涉波出射的第1光出射部；
使所述第2光入射的第2光入射部；和
使所述第2光的干涉波出射的第2光出射部。
7.如权利要求5所述的光模块，其特征在于，
还包括：
输出所述第2光的发光元件；和
检测所述第2光的干涉波的受光元件。
8.如权利要求1～4中任一项所述的光模块，其特征在于，
所述第1可动镜和所述第2可动镜设置于所述规定方向上的所述可动部的端部，至少共用一部分。
9.如权利要求8所述的光模块，其特征在于，
还具备：
使所述第1光入射的第1光入射部；
使所述第2光入射的第2光入射部；和
使所述第1光的干涉波和所述第2光的干涉波出射的光出射部。
10.如权利要求8所述的光模块，其特征在于，
还具备：
输出所述第2光的发光元件；和
检测所述第1光的干涉波和所述第2光的干涉波的受光元件。
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