[发明专利]固化膜及正型感光性树脂组合物有效
申请号: | 201780009414.2 | 申请日: | 2017-03-08 |
公开(公告)号: | CN108604061B | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 首藤勇太;龟本聪;三好一登 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/20;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/22 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固化 感光性 树脂 组合 | ||
本发明提供不会引起发光亮度降低及像素缩小、长期可靠性优异的固化膜及正型感光性树脂组合物。固化膜,其是由感光性树脂组合物的固化物形成的,感光性树脂组合物包含:碱溶性树脂(a)、光产酸剂(b)、化合物(c)及热交联剂(d),化合物(c)为选自由环状酰胺、环状脲及它们的衍生物组成的组中的一种以上,固化膜的特征在于,上述热交联剂(d)包含环氧化合物、氧杂环丁基化合物、异氰酸酯化合物、具有酸性基团的烷氧基甲基化合物和/或具有酸性基团的羟甲基化合物,固化膜中的化合物(c)的总含量为0.005质量%以上且5质量%以下。另外,正型感光性树脂组合物含有上述碱溶性树脂(a)、光产酸剂(b)、化合物(c)、热交联剂(d)、及有机溶剂(e),其特征在于,相对于碱溶性树脂(a)100质量份而言,含有0.1质量份以上且15质量份以下的化合物(c)、含有100~3000质量份的有机溶剂(e)。
技术领域
本发明涉及固化膜及正型感光性树脂组合物。更具体而言,涉及适于有机电致发光(Electroluminescence:以下记作EL)元件的绝缘膜、使用了有机EL元件的显示装置的驱动用薄膜晶体管(Thin Film Transistor:以下记作TFT)基板的平坦化膜的固化膜,用于形成该固化膜的正型感光性树脂组合物,以及该固化膜的用途/制造方法。
背景技术
有机EL显示装置作为下一代平板显示器而备受关注。有机EL显示装置是利用了基于有机化合物的电致发光的自发光型显示装置,能够实现宽视角、高速响应、高对比度的图像显示。有机EL显示装置还具有能够实现进一步的薄型化、轻质化这样的特征,因此近年来其研究开发得到了蓬勃发展。
另一方面,作为有机EL显示装置的课题之一,可举出长期可靠性。有机发光材料通常对于气体成分、水分的耐受性差,会因暴露于这些中而引起发光亮度降低、像素缩小(pixel shrink)。这里,所谓像素缩小,是指发光亮度从像素的端部开始降低、或是变得不亮的现象。为了提高这样的显示元件的长期可靠性,自不必说要提高有机发光材料自身的耐久性,而提高覆盖驱动电路的平坦化层、形成在第一电极上的绝缘层这样的周边材料的特性也是不可或缺的。对于上述平坦化层、绝缘层,可通过使用感光性树脂组合物而简便地获得期望的图案。其中,从能够实现碱显影且分辨性优异的方面出发,正型的感光性树脂组合物是优选的。
作为迄今为止所提出的正型感光性树脂组合物,可举出:在碱溶性树脂中混合有感光成分邻醌二叠氮化合物、且作为树脂而使用了聚酰亚胺前体的组合物(参见例如专利文献1)、作为树脂而使用了聚苯并噁唑前体的组合物(参见例如专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2002-91343号公报
专利文献2:日本特开2002-116715号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而,上文列举的专利文献中所提出的材料虽然从能够使绝缘层的剖面形状为正锥形的方面出发是优选的,但从长期可靠性的观点考虑,却很难认为其具有充分的性能。鉴于上述问题点,本发明的目的在于提供不会引起发光亮度降低及像素缩小、长期可靠性优异的固化膜及正型感光性树脂组合物。
用于解决课题的手段
本发明的固化膜是由感光性树脂组合物的固化物形成的,所述感光性树脂组合物包含:碱溶性树脂(a)、光产酸剂(b)、化合物(c)、及热交联剂(d),所述化合物(c)为选自由环状酰胺、环状脲及它们的衍生物组成的组中的一种以上,所述固化膜的特征在于,上述热交联剂(d)包含环氧化合物、氧杂环丁基化合物、异氰酸酯化合物、具有酸性基团的烷氧基甲基化合物和/或具有酸性基团的羟甲基化合物,固化膜中的化合物(c)的总含量为0.005质量%以上且5质量%以下。
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