[发明专利]激光加工机

说明书

一种激光加工机，其使用激光束对被加工物(W)进行加工，该激光加工机具备：第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67)，从所述激光束的光路上游侧依次配置；第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)，独立地保持所述第一棱镜(37)、第二棱镜(47)、第三棱镜(57)及第四棱镜(67)；第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61)，以分别能够旋转的方式保持所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)；第一马达(35)、第二马达(45)、第三马达(55)及第四马达(65)，由分别固定于所述第一主轴(32)、第二主轴(42)、第三主轴(52)及第四主轴(62)的转子(35b、45b、55b、65b)以及分别固定于所述第一保持机构(31)、第二保持机构(41)、第三保持机构(51)及第四保持机构(61)的定子(35a、45a、55a、65a)构成；及棱镜移动机构(101、102)，至少移动所述第一棱镜(37)或所述第二棱镜(47)中的至少一个。

技术领域

本发明涉及一种使用激光束对被加工物进行钻孔等加工的激光加工机。

背景技术

激光加工机为通过从激光振荡器振荡规定波长的激光束，并经由聚光透镜对被加工物照射该激光束来熔融(或蒸发)被加工物并进行钻孔等加工的加工机，且为适于精密加工的机床。

在激光加工机中设有用于使激光束的光路位移及偏向的多个棱镜，通过这些多个棱镜，入射于聚光透镜的位置及角度，即经由该聚光透镜照射于被加工物的角度及位置得到控制。并且，通过多个棱镜同步旋转，激光束相对于被加工物在规定的照射角度及照射位置进行回转(轨道回转)，由此在被加工物中形成规定的孔形状及孔径的孔。

如此，在激光加工机中，通过控制激光束的照射轨道(照射角度、照射位置及轨道回转等)，能够得到所希望的加工形状。作为使用多个棱镜控制激光束的照射轨道的技术，例如有专利文献1中所记载的技术。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-167704号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

专利文献1中记载有如下技术：一种使用了四个或六个楔形棱镜的光速旋转器，该光速旋转器通过楔形棱镜之间的相位差来调整激光束的照射角度及照射位置，并通过使该楔形棱镜同步旋转来使激光束进行轨道回转，从而进行钻孔加工。

但是，在专利文献1中，经由齿轮及输送带等将伺服马达的驱动传递给圆筒支承部件，并使嵌合于该圆筒支承部件的楔形棱镜旋转，因此很难使多个楔形棱镜高精度地同步旋转。

并且，在专利文献1中，仅通过楔形棱镜的旋转轴周围的相对相位差来控制激光束的照射角度及照射位置，即使设定(变更)激光束的照射角度或照射位置中的任一个，激光束也会三维地偏向，因此需要复杂的轨道计算。

近年来，推进电子设备等产品的进一步的小型化，在制造这些产品中所使用的组件时，要求更精密且高精度的加工。但是，在专利文献1所记载的技术中，能够高精细地控制激光束的照射轨道，并能够进行精密且高精度的加工。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于高精细地控制激光束的照射轨道。

用于解决技术课题的手段