[发明专利]形状测量装置以及待涂覆目标物体的制造方法

权利要求书

1.一种形状测量装置，通过向目标物体照射白光并使用来自所述目标物体的反射光来测量所述目标物体的形状，其特征在于，包括：

光源，该光源输出所述白光；

双光束干涉物镜，该双光束干涉物镜将所述白光分成两束光束，将所述两束光束中的一束光束照射到所述目标物体上，将另一束光束照射到参照面上，使来自所述目标物体的反射光与来自所述参照面的反射光发生干涉以输出干涉光；

成像装置，该成像装置获得从所述双光束干涉物镜输出的干涉光的图像；

观察光学系统，该观察光学系统通过所述双光束干涉物镜将从所述光源输出的所述白光引导到所述目标物体的表面，并通过所述双光束干涉物镜将来自所述表面的所述反射光引导到所述成像装置；

定位装置，该定位装置使所述双光束干涉物镜相对于所述目标物体移动；以及

控制装置，该控制装置被配置为在所述双光束干涉物镜的光轴方向上改变所述目标物体和所述双光束干涉物镜之间的距离的同时获得多个图像，并使用所述多个图像来测量所述目标物体的形状，

所述控制装置对于所述多个图像中的每个单位区域，计算在所述多个图像中基于亮度的评估值达到最大时的所述双光束干涉物镜的位置作为该单位区域的焦点位置，并基于所述多个图像中的每个单位区域的焦点位置来测量所述目标物体的形状，并且

使用所述多个图像中的每个单位区域的亮度、以及所述单位区域的亮度和所述单位区域相邻的多个单位区域的亮度之差相关的值，作为所述评估值，

当所述多个图像中的每个单位区域的亮度的最大值大于阈值时，所述控制装置使用所述亮度作为所述评估值，

当所述最大值小于所述阈值时，所述控制装置使用所述差相关的值作为所述评估值。

2.根据权利要求1所述的形状测量装置，其特征在于，

所述评估值是所述多个图像中的每个单位区域的亮度与该单位区域相邻的多个单位区域的亮度的方差值。

3.根据权利要求1所述的形状测量装置，其特征在于，

所述评估值是所述多个图像中的每个单位区域所相邻的单位区域之间的亮度梯度的绝对值之和。

4.根据权利要求1所述的形状测量装置，其特征在于，

所述评估值是所述多个图像中的每个单位区域和与该单位区域相邻的多个单位区域之间的亮度梯度的差的绝对值之和。

5.一种待涂覆目标物体的制造方法，其特征在于，

包括使用根据权利要求1所述的形状测量装置测量待涂覆目标物体的形状的步骤。