[发明专利]多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种电磁电动机，包括：

磁体组件，被配置为生成在第一方向上具有磁节距的交变磁场；以及

多个线圈组件，每个线圈组件包括多个线圈，所述多个线圈被配置为与所述磁体组件协作以在所述第一方向上生成第一力，所述多个线圈以第一组线圈和第二组线圈布置，其中所述第一组线圈在所述第一方向上的第一线圈节距不同于所述第二组线圈在所述第一方向上的第二线圈节距，

其中每个线圈组件在所述第一方向上具有第一尺寸，并且在所述第一方向上的相邻线圈组件之间存在非零第一间隙，并且

其中所述磁体组件在所述第一方向上具有第一尺寸，所述磁体组件的第一尺寸等于每个线圈组件的第一尺寸的J倍加上所述第一间隙的J/2倍，其中J是正整数。

2.根据权利要求1所述的电磁电动机，其中所述第一组线圈中的线圈以被配置为被第一三相电源供电的一个或多个第一线圈三元组布置。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的电磁电动机，其中所述第二组线圈中的线圈以被配置为被第二三相电源供电的一个或多个第二线圈三元组布置。

4.根据权利要求1所述的电磁电动机，其中所述第一组线圈中的线圈以一个或多个第一线圈三元组布置，所述第二组线圈中的线圈以一个或多个第二线圈三元组布置，所述一个或多个第一线圈三元组和所述一个或多个第二线圈三元组被配置为由三相电源供电，其中被配置为被所述三相电源的相同相供电的所述一个或多个第一线圈三元组和所述一个或多个第二线圈三元组的线圈串联连接。

5.根据权利要求4所述的电磁电动机，其中所述一个或多个第一线圈三元组的线圈的绕组的截面等于所述一个或多个第二线圈三元组的线圈的绕组的截面。

6.根据权利要求4所述的电磁电动机，其中所述一个或多个第一线圈三元组的线圈的绕组的高度等于所述一个或多个第二线圈三元组的线圈的绕组的高度。

7.根据权利要求1、2、4至6中任一项所述的电磁电动机，其中所述磁体组件包括被配置为生成在所述第一方向上具有所述磁节距的所述交变磁场的多个永磁体。

8.根据权利要求1、2、4至6中任一项所述的电磁电动机，其中：

Pc1Pc22Pc1，

其中：

Pc1＝所述第一线圈节距；

Pc2＝所述第二线圈节距。

9.根据权利要求1、2、4至6中任一项所述的电磁电动机，其中：

其中：

Pc1＝所述第一线圈节距；

Pc2＝所述第二线圈节距；

Pm＝所述磁节距。

10.一种电磁电动机，包括：

磁体组件，被配置为生成二维交变磁场，所述二维交变磁场在第一方向上具有第一磁节距并且在第二方向上具有第二磁节距；以及

多个线圈组件，每个线圈组件被配置为与所述磁体组件协作以在所述第一方向上生成第一力并且在所述第二方向上生成第二力，其中所述线圈组件包括第一线圈组和第二线圈组，所述第一线圈组包括用于生成所述第一力的多个第一线圈，所述第二线圈组包括用于生成所述第二力的多个第二线圈，其中所述第一线圈组中在所述第一方向上的第一线圈节距与所述第一磁节距的比率R1不同于所述第二线圈组中在所述第二方向上的第二线圈节距与所述第二磁节距的比率R2，

其中每个线圈组件在所述第一方向上具有第一尺寸，并且在所述第一方向上的相邻线圈组件之间存在非零第一间隙，并且

其中所述磁体组件在所述第一方向上具有第一尺寸，所述磁体组件的第一尺寸等于每个线圈组件的第一尺寸的J倍加上所述第一间隙的J/2倍，其中J是正整数。

11.根据权利要求10所述的电磁电动机，其中：

Pm1＝Pm2＝Pm，

其中：

Pm1＝所述第一磁节距；

Pm2＝所述第二磁节距；

Pm＝磁节距。