[发明专利]具备离子迁移率分离部的分析装置

权利要求书

1.一种分析装置，其特征在于，

该分析装置具有：

离子源；

离子迁移率分离部，其具备一对对置的电极，对上述一对对置的电极的一个电极施加高频电压和直流电压，对上述一对对置的电极的另一个电极施加上述直流电压；以及

屏蔽电极，其设置在上述离子源和上述离子迁移率分离部之间且被施加直流电压，

上述屏蔽电极在内部具有连接导入来自上述离子源的离子的入口和排出上述离子的出口的离子流路，

上述屏蔽电极具有弯曲成大致直角的L字状以使上述离子流路弯曲成大致直角的部分，使得从上述入口见不到上述出口。

2.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

上述屏蔽电极的上述出口与上述一对对置的电极间的距离比放电极限距离长。

3.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

上述屏蔽电极的上述出口位于上述离子迁移率分离部的上述一对对置的电极间的离子渗透区域内。

4.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

上述屏蔽电极的至少上述离子流路的内面具有导电性。

5.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

上述离子流路的上述弯曲的部分凹陷成凹状。

6.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

在上述离子迁移率分离部的后级连接有质谱仪。

7.根据权利要求6所述的分析装置，其特征在于，

上述质谱仪面向上述离子迁移率分离部具有用于将该质谱仪的内部保持为真空的第1细孔电极，

上述屏蔽电极的传导率比上述第1细孔电极的传导率大。

8.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

上述离子流路在从上述入口能够见到的位置具有第2出口，具备堵住上述第2出口的能够装卸的板部件。

9.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

作为上述离子源而具备第1离子源和第2离子源，

上述屏蔽电极具有与上述第1离子源对应的第1入口和与上述第2离子源对应的第2入口来作为上述入口，

从上述第1入口开始的离子流路和从上述第2入口开始的离子流路在中途汇合成在上述出口结束的一条流路。

10.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，

上述离子流路在能够见到上述出口的位置设置有电极。