[发明专利]用于光耦合的波导结构有效
| 申请号： | 201780010753.2 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108603982B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 马汀·塔萨特 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/122 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 耦合 波导 结构 | ||
1.一种用于垂直光耦合的波导结构(100)，其特征在于，包括：
第一波导(101)，嵌入在第一包层(102)中；
至少两个第二波导(103a、103b)，与所述第一波导(101)垂直分隔并嵌入在所述第一包层(102)上提供的第二包层中(104)中，其中：
所述第一和第二波导(101、103a、103b)均包括所述波导结构(100)的耦合区域(105)中的一个至少部分锥化的端截面，所述第一波导(101)的所述端截面与所述第二波导(103a、103b)的所述端截面相对锥化，以及
所述第一波导(101)横向放置在所述耦合区域(105)中的所述至少两个第二波导(103a、103b)之间；
其中，所述第二波导(103a、103b)的所述端截面不在所述耦合区域(105)的传递部分(201)中锥化，以及
所述第一波导(101)的所述端截面在所述传递部分(201)中锥化；
所述波导结构(100)还包括第三波导(202)，嵌入在所述第二包层(104)中，其中：
所述第三波导(202)与所述第一波导(101)纵向分隔，并且不与所述第二波导(103a、103b)垂直分隔；
所述第二和第三波导(103a、103b、202)均包括所述波导结构(100)的转换区域(203)中的锥化端截面，所述第二波导(103a、103b)的所述端截面与所述第三波导(202)的所述端截面相对锥化，以及，
所述第三波导(202)横向放置在所述转换区域(203)中的所述至少两个第二波导(103a、103b)之间；所述第一和第二波导(101、103a、103b)的排列设计为与所述耦合区域(105)中的偶超模具有耦合，其中禁止任何奇超模。
2.根据权利要求1所述的波导结构(100)，其特征在于：
所述第一波导(101)与每个所述第二波导(103a、103b)之间的横向距离至少为0.7μm。
3.根据权利要求2所述的波导结构(100)，其特征在于：
所述转换区域(203)中的所述第二波导(103a、103b)的所述端截面与所述耦合区域(105)中的所述第二波导(103a、103b)的所述端截面相对锥化。
4.根据权利要求1至3之一所述的波导结构(100)，其特征在于：
所述第一波导(101)属于第一芯片或衬底(106)，以及
所述第二波导(103a、103b)属于第二芯片(107)，其中所述第二芯片(107)转印或倒装片键合到所述第一芯片或衬底(106)上。
5.根据权利要求1所述的波导结构(100)，其特征在于：
所述第一波导(101)横向居中放置在所述耦合区域(105)中的所述至少两个第二波导(103a、103b)之间；所述第三波导(202)横向居中放置在所述转换区域(203)中的所述至少两个第二波导(103a、103b)之间。
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