[发明专利]有机金属化合物及其方法在审
| 申请号： | 201780010791.8 | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN109588049A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | R·奥德萨;C·董;S·森贝拉 | 申请（专利权）人： | 海星化学有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/04 | 分类号： | C07F7/04;C23C16/40;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京从真律师事务所 11735 | 代理人： | 程义贵 |
| 地址： | 加拿大英属*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 个碳原子 环烷基 自由 有机金属化合物 等离子体辅助 沉积金属氧化物 本发明化合物 化学气相沉积 原子层沉积 氮原子 低温气 前驱体 自由基 可用 杂环 沉积 薄膜 | ||
1.式1的有机金属化合物：
(A)X-M-(OR3)4-x
其中：
A选自由-NR1R2、-N(R4)(CH2)nN(R5R6)、-N＝C(NR4R5)(NR6R7)、OCOR1、卤素和Y组成的组；
R1和R2独立地选自由H和具有1至8个碳原子的环状或无环烷基组成的组，条件是R1和R2中的至少一个必须不是H；
R4，R5，R6和R7独立地选自由H和具有1至4个碳原子的无环烷基组成的组；
Y选自由含有至少一个氮原子的3-至13-元杂环自由基组成的组；
R3是具有1至6个碳原子的环状或无环烷基；
M选自由Si、Ge、Sn、Ti、Zr和Hf组成的组；
x是1至3的整数；以及
n是1至4的整数。
2.根据权利要求1所述的化合物，其中M选自由Si、Ge和Sn组成的组。
3.根据权利要求2所述的化合物，其中M是Si。
4.根据权利要求3所述的化合物，其中A选自由-NR1R2、-N(R4)(CH2)nN(R5R6)、-N＝C(NR4R5)(NR6R7)、OCOR1、卤素和Y组成的组。
5.根据权利要求4所述的化合物，其中A选自由醋酸盐、四乙基胍基、二甲基乙二胺基、溴、碘、-NR1R2和Y组成的组。
6.根据权利要求5所述的化合物，其中A是-NR1R2。
7.根据权利要求6所述的化合物，其中R1和R2独立地选自由H和具有1至4个碳原子的无环烷基组成的组。
8.根据权利要求7所述的化合物，其中R1和R2独立地选自由甲基、乙基和异丁基组成的组。
9.根据权利要求5所述的化合物，其中A是Y。
10.根据权利要求9所述的化合物，其中Y选自由吖丙啶基、氮杂环丁烷基、吡咯烷基、吡咯基、哌啶基、吡啶基、氮杂环庚烷基或氮杂环庚三烯基组成的组。
11.根据权利要求10所述的化合物，其中Y选自由吖丙啶基(aziridinyl)、氮杂环丁烷基和吡咯烷基组成的组。
12.根据权利要求8或11所述的化合物，其中R1和R2独立地选自由H和具有1至8个碳原子的环状或无环烷基组成的组，条件是R1和R2中的至少一个必须不是H。
13.根据权利要求12所述的化合物，其中R1和R2独立地选自由H和具有1至4个碳原子的无环烷基组成的组。
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