[发明专利]压力传感器

说明书

本发明提供一种可对测量对象的温度进行测量，并且可抑制压力的测量精度的下降的压力传感器。所述压力传感器的特征在于，具备：隔膜(110)，其中央具有厚壁部(111a)，且在厚壁部(111a)的周围具有壁厚比厚壁部(111a)薄的薄壁部(111b)；计量仪(120)，其被设置在薄壁部(111b)的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上；感温元件(130)，其被设置在厚壁部(111a)的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上。

技术领域

本发明涉及一种也可测量温度的压力传感器。

背景技术

一直以来，已知一种通过在隔膜上设置有应变计等压力检测用计量仪的压力传感器中设置可检测温度的传感器，从而可实现压力与温度的测量的传感器(参照专利文献1、2)。在此，为了提高压力的测量精度，则必须使压力检测用计量仪适当变形。因此，可检测温度的传感器的安装构造会防碍隔膜的变形，进而有可能会对压力检测用计量仪的变形造成不好的影响。然而，至今并未发现着眼于上述那样的点的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开昭62-174247号公报

专利文献2：日本特开2008-39760号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于提供一种可对测量对象的温度进行测量，并且可抑制压力的测量精度的下降的压力传感器。

用于解决课题的方案

本发明为了解决所述课题而采用以下方案。

即，本发明的压力传感器的特征在于，具备：

隔膜，其中央具有厚壁部，且在该厚壁部的周围具有壁厚比该厚壁部薄的薄壁部；

压力检测用计量仪，其被设置在所述薄壁部的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上，和

感温元件，其被设置在所述厚壁部的与测量对象相接的表面的相反侧的表面上。

根据本发明，由于压力检测用计量仪被设置在隔膜的薄壁部上，因此隔膜在设置有压力检测用计量仪的位置处容易发生变形。因此，压力检测用计量仪也容易发生变形，从而能够抑制压力的测量精度下降。此外，由于感温元件被设置在隔膜的厚壁部上，因此即使在隔膜发生变形的状态下，感温元件也不容易受到因隔膜的变形而导致的影响。另外，本发明的压力传感器在应变计式压力传感器和薄膜计量仪式压力传感器中均可应用。

优选为，所述厚壁部上设置有凹部，且在该凹部的底部设置有所述感温元件。

由此，感温元件靠近测量对象，因而能够提高温度的测量精度。

优选为，具备：

罩，其对所述感温元件进行覆盖；

止挡件，其被设置在与所述罩相对置的位置处，在所述隔膜朝向所述罩侧发生变形时，通过与所述罩抵接来对所述隔膜的变形量进行限制。

由此，能够抑制隔膜过度变形，进而能够抑制各部件的损坏。

发明效果

如以上所说明的那样，根据本发明，可对测量对象的温度进行测量，并且可抑制压力的测量精度的下降。

附图说明

图1为本发明的实施例1所涉及的压力传感器的概要结构图。

图2为本发明的实施例1所涉及的压力传感器的传感器主体部的俯视图。

图3为本发明的实施例1所涉及的压力传感器的传感器主体部的模式性剖视图。