[发明专利]用于制造具有钙钛矿材料的层的方法和具有这种层的设备

权利要求书

1.一种用于制造电光和/或光电层（100）的方法，其中具有组成ABX₃的钙钛矿材料的层（100）借助冷气喷涂至少一种具有所述钙钛矿材料的起始材料来形成，并且其中X由至少一种卤素或多种卤素的混合物形成。

2.如权利要求1所述的方法，其中A由至少一种阳离子或多种阳离子的混合物形成和/或B由至少一种金属或半金属阳离子或不同阳离子的混合物形成。

3.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中借助基于气溶胶的冷沉积实现冷气喷射。

4.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述冷气喷涂在相对空气湿度为至多30％，优选地相对空气湿度为至多20％并且理想地相对空气湿度为至多10％的运行氛围中进行。

5.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述冷气喷涂在惰性氛围中执行。

6.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中形成层厚度至少局部为至少一微米，优选至少三微米，适宜地至少十微米的层（100）。

7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中形成层厚度至少局部为至少30微米，理想至少100微米的电光和/或光电层。

8.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中形成层厚度至少局部为小于1微米，尤其是至多500纳米，适宜地至多 200纳米的电光和/或光电层。

9.如前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法在至多200摄氏度，优选至多70摄氏度，理想地至多40摄氏度的温度下执行。

10.一种用于制造具有至少一个电光和/或光电层的电光和/或光电设备的方法，其中所述至少一个层借助根据前述权利要求中任一项所述的方法由钙钛矿材料形成。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述设备是能量转换器或辐射探测器、尤其是X射线探测器，和/或其中所述电光和/或光电层是传感器层。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，在与所述至少一个传感器层的生长方向倾斜、特别是横向的方向上制造至少一个另外的传感器层。

13.一种设备，尤其是电光和/或光电设备，具有含钙钛矿材料的电光和/或光电层，所述电光和/或光电层通过前述权利要求中任一项所述的方法制造。

14.根据前述权利要求中任一项所述的设备，其是能量转换器，所述能量转换器尤其被构造用于将电磁能转换为电能或将电能转换为电磁能。

15.如前述权利要求中任一项所述的设备，其是太阳能电池或发光二极管或X射线探测器。