[发明专利]在基板上沉积一种或多种材料的真空系统和方法

权利要求书

1.一种用于在基板上沉积一种或多种材料的真空系统(100)，包括：

第一运输系统(110)，经配置以在主要运输方向(P)上沿着主要运输路径(101)运输基板；和

至少一个沉积模块(104)，在相对于所述主要运输方向(P)的横向方向(T)上延伸；

其中所述第一运输系统(110)经配置以在所述基板在所述主要运输方向(P)上的运输期间将所述基板固持在基本上平行于所述横向方向(T)的取向上。

2.如权利要求1所述的真空系统，进一步包括：

第二运输系统(120)，经配置以在所述横向方向(T)上将所述基板(10)从所述主要运输路径(101)运输到所述至少一个沉积模块(104)中，并且运输回所述主要运输路径(101)中。

3.如权利要求2所述的真空系统，其中所述第一运输系统(110)和所述第二运输系统(120)经配置以持续地保持所述基板的取向基本上垂直于所述主要运输方向(P)。

4.如权利要求2或3所述的真空系统，其中所述第二运输系统(120)包括基板轨道(30)和/或磁悬浮装置，所述基板轨道(30)在所述横向方向(T)上延伸，所述磁悬浮装置经配置以非接触地固持所述基板(10)。

5.如权利要求1至4任一项所述的真空系统，其中所述第一运输系统(110)包括运输车(111)，所述运输车是可沿着所述主要运输路径(101)移动的。

6.如权利要求5所述的真空系统，其中所述运输车(111)包括在所述横向方向(T)上延伸的一个、二个、四个、六个或更多个载体支撑件(301)，其中每个载体支撑件经配置以支撑基板载体或掩模载体。

7.如权利要求5或6所述的真空系统，其中所述至少一个沉积模块(104)包括具有第一基板轨道(30)的第一沉积区域(131)和具有第二基板轨道(31)的第二沉积区域(132)，并且所述运输车包括用于支撑第一基板载体的第一载体支撑件(112)和用于支撑第二基板载体的第二载体支撑件(113)，特别地，其中所述第一基板轨道(30)与所述第二基板轨道(31)之间的第一距离(D1)基本上对应于所述第一载体支撑件(112)与所述第二载体支撑件(113)之间的第二距离(D2)。

8.如权利要求1至7任一项所述的真空系统，其中所述主要运输路径(101)基本上线性地在所述主要运输方向(P)上延伸，所述横向方向(T)基本上垂直于所述主要运输方向(P)，和/或所述基板(10)的取向为基本上竖直的取向。

9.如权利要求1至8任一项所述的真空系统，其中蒸发源(105)提供在所述至少一个沉积模块(104)中，特别地，其中所述蒸发源(105)是可在所述横向方向(T)移动的并且经配置以将有机材料朝所述基板引导。

10.如权利要求1至9任一项所述的真空系统，包括位于所述主要运输路径(101)的第一侧(S1)上的多个第一侧沉积模块和与所述多个第一侧沉积模块相对地位于所述主要运输路径(101)的第二侧(S2)上的多个第二侧沉积模块，其中多个第二运输系统提供用于在所述横向方向(T)上在所述主要运输路径与所述第一侧沉积模块和所述第二侧沉积模块之间运输数个基板和/或数个掩模装置。

11.如权利要求1至10任一项所述的真空系统，进一步包括一个或多个掩模处理模块(211)，所述一个或多个掩模处理模块邻近所述主要运输路径(101)布置并且包括掩模处理组件，所述掩模处理组件经配置以将掩模装置装载到所述真空系统中或从所述真空系统中卸载。