[发明专利]脉冲直流电源供应器在审
申请号: | 201780012398.2 | 申请日: | 2017-05-10 |
公开(公告)号: | CN109247032A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 尤韦·赫尔曼斯 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34;H01J37/32 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脉冲直流电源 关闭周期 供应器 零线 脉冲单元 标称 电流测量单元 单极脉冲 确定单元 直流电压 测量 配置 直流电源 周期期间 | ||
1.一种用于提供单极脉冲直流电源的脉冲直流电源供应器(100),包括:
脉冲单元(110),所述脉冲单元用于交替地于所述脉冲直流电源供应器的单极脉冲周期的开启周期期间设定标称开启周期直流电压和在关闭周期期间设定标称关闭周期电压;
电流测量单元(120),所述电流测量单元配置用于在关闭周期期间测量关闭周期电流;和
零线确定单元(130),所述零线确定单元配置用以确定所测量的关闭周期电流的零线条件的存在;
其中所述脉冲单元被配置用于在确定存在所述所测量的关闭周期电流的所述零线条件时,设定所述标称开启周期直流电压。
2.根据权利要求1所述的脉冲直流电源供应器,其中所述脉冲直流电源供应器被配置为根据设定所述关闭周期的所述标称关闭周期电压与确定存在所述零线条件之间的时间差,确定所述关闭周期的关闭周期时期,且所述脉冲直流电源供应器被配置为根据标称脉冲时期与所确定的所述关闭周期时期之间的时间差,确定开启周期的开启周期时期,所述标称脉冲时期为所述脉冲直流电源供应器的标称脉冲频率的倒数;并且
其中所述脉冲单元被配置为在所确定的所述开启周期时期期间维持所述标称开启周期直流电压。
3.根据权利要求1所述的脉冲直流电源供应器,其中所述脉冲直流电源供应器被配置为根据设定用于第一脉冲周期的标称开启周期直流电压与在确定存在所述零线条件时设定后续第二脉冲周期的标称开启周期直流电压之间的时间差,确定所述第一脉冲周期的实际脉冲时期,以及
其中所述脉冲直流电源供应器被配置为设定所述脉冲直流电源供应器的标称操作频率,以对应于所述第一脉冲周期的所确定的所述实际脉冲时期的倒数。
4.根据权利要求1所述的脉冲直流电源供应器,其中所述脉冲单元被配置为根据设定所述关闭周期的所述标称关闭周期电压和确定存在所述零线条件之间的时间差来确定所述关闭周期的关闭周期时期;并且
如果不存在取决于所确定的关闭周期时期的操作参数不匹配条件,则从标称脉冲时期和所述关闭周期时期之间的时间差确定开启周期的开启周期时期,所述标称脉冲时期是所述脉冲直流电源供应器的标称操作频率的倒数,并且在所确定的所述开启周期时期期间保持所述标称开启周期直流电压;和
如果存在所述操作参数不匹配条件,则改变所述标称操作频率。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的脉冲直流电源供应器,其中所述电流测量单元包括下列中的至少一个:用于测量所述关闭周期电流并输出表示所述关闭周期电流的相应测量值的电流探针,以及用于将表示所述关闭周期电流的测量值转换为数字值的模拟数字转换器。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的脉冲直流电源供应器,其中当表示所测量的关闭周期电流的测量值为零或在预定范围内时,通过所述零线确定单元确定所述零线条件的存在。
7.一种用于提供单极脉冲直流电源的脉冲直流电源供应器,包括:
脉冲单元,所述脉冲单元被配置为在所述脉冲直流电源供应器的单极脉冲周期的开启周期期间设定标称开启周期直流电压,并且被配置为在所述脉冲直流电源供应器的单极脉冲周期的关闭周期期间设定标称关闭周期电压;
测量单元,所述测量单元被配置为测量所述脉冲直流电源供应器的至少一个电量;和
评估单元,所述评估单元被配置为根据所测量的所述至少一个电量的测量值的评估来确定预定条件的存在,
其中所述脉冲单元被配置为在确定存在所述预定条件时设定所述标称开启周期直流电压。
8.根据权利要求7所述的脉冲直流电源供应器,其中
(a)所测量的所述至少一个电量包括电压和电流,并且所述预定条件是零能量条件,或
(b)其中所测量的所述至少一个电量包括关闭周期电流,并且所述预定条件是测量的关闭周期电流的零线条件。
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