[发明专利]涂布装置和涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，其具有：

涂布器，其具有蓄积涂布液的蓄积部、喷出涂布液的喷出口、以及将所述蓄积部与所述喷出口相连的缝状流路，该涂布器从该喷出口对被涂布部件喷出涂布液；

移动单元，其使所述涂布器与所述被涂布部件在与该被涂布部件的被涂布面平行的方向上相对移动；

泵，其通过连接于所述涂布器的配管而与该涂布器相连，将涂布液提供至所述蓄积部；以及

控制装置，在进行一边进行所述相对移动一边从所述喷出口对所述被涂布部件喷出涂布液的涂布动作时，该控制装置进行用于使所述蓄积部内的涂布液维持为负压并且从所述泵将涂布液提供至所述涂布器的控制，

该涂布装置还具有：

容器，其蓄积涂布液，并且与所述涂布器相连；以及

压力调整器，其通过将所述容器的涂布液的压力调整为负压而使所述蓄积部的涂布液的压力成为负压，

为了在所述被涂布部件与所述喷出口之间形成涂布液的液滴，所述压力调整器对所述容器的涂布液的压力进行调整并借助该压力的影响使所述蓄积部的涂布液的压力成为负压，

在形成了所述液滴的状态下，在进行一边进行所述相对移动一边从所述喷出口对所述被涂布部件喷出涂布液的涂布动作时，所述控制装置进行用于维持借助所述压力的影响而产生的所述蓄积部的涂布液的负压并且从所述泵将涂布液提供至所述涂布器的控制。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，

在进行所述涂布动作时，所述控制装置进行如下的控制：将与要从所述喷出口喷出的涂布液的量相对应的涂布液从所述泵提供至所述涂布器。

3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其中，

由所述容器和所述压力调整器构成了使压力作用于所述涂布器内的涂布液的压力赋予装置，

该涂布装置还具有压力传感器，其对所述涂布器内的涂布液的压力进行测量，

所述控制装置为了将所述涂布器内的涂布液维持为负压而通过所述压力赋予装置进行所述涂布器内的涂布液的压力控制，并且根据所述压力传感器的测量结果来进行基于所述泵的涂布液的调整控制。

4.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其中，

在为了进行开始对所述被涂布部件附着涂布液的液体附着动作而通过所述泵将涂布液提供至所述涂布器并通过该提供而提高了所述涂布器内的涂布液的压力之后，当检测到该压力降低时，所述控制装置停止基于所述泵的涂布液的提供。

5.根据权利要求4所述的涂布装置，其中，

该涂布装置还具有阀，其能够将所述涂布器与所述容器连通和切断，

在通过所述阀将所述涂布器与所述容器的连通切断的状态下，当通过所述泵将涂布液提供至所述涂布器之后检测到所述压力降低时，所述控制装置停止基于所述泵的涂布液的提供，并且使所述阀进行动作而使所述容器与所述涂布器连通。

6.一种涂布方法，用于从涂布器的喷出口对被涂布部件喷出涂布液而进行毛细管涂布，所述涂布器具有蓄积涂布液的蓄积部、喷出涂布液的所述喷出口、以及将所述蓄积部与所述喷出口相连的缝状流路，其中，

能够从通过连接于所述涂布器的配管而与该涂布器相连的泵将涂布液提供至所述蓄积部，

该涂布方法进行如下的涂布动作：一边使所述涂布器与所述被涂布部件在与该被涂布部件的被涂布面平行的方向上相对移动，一边从所述喷出口对该被涂布部件喷出涂布液，

在进行所述涂布动作时，使所述蓄积部内的涂布液维持为负压并且从所述泵将涂布液提供至该涂布器，

使蓄积有涂布液的容器与所述涂布器相连，能够通过压力调整器将蓄积在所述容器中的涂布液的压力调整为负压，以便使所述蓄积部的涂布液的压力成为负压，其中：

为了在所述被涂布部件与所述喷出口之间形成涂布液的液滴，所述压力调整器对所述容器的涂布液的压力进行调整并借助该压力的影响使所述蓄积部的涂布液的压力成为负压，

在形成了所述液滴的状态下，在进行所述涂布动作时，维持借助所述压力的影响而产生的所述蓄积部的涂布液的负压并且从所述泵将涂布液提供至所述涂布器。