[发明专利]形状测定装置和形状测定方法

权利要求书

1.一种形状测定装置，其测定测定对象物的被测定面的形状，所述测定对象物具有呈球面状的所述被测定面，其特征在于，

该形状测定装置具有：

保持架，其对所述测定对象物进行保持；

传感器，其测定所述被测定面的加压状态下的形状并输出测定值；

传感器旋转机构，其使所述传感器绕第一轴旋转；

传感器移动机构，其能够使所述传感器在与所述第一轴垂直的第二轴上移动，并且能够使所述传感器沿所述第二轴在所述第二轴与所述第一轴的交点的两侧范围内移动；

保持架移动机构，其能够使所述保持架沿与铅垂方向平行的第三轴移动，并且能够使所述保持架在与所述第三轴垂直的面内移动；以及

控制装置，其根据从所述传感器输出的所述测定值来计算所述被测定面的形状和所述被测定面的球心的位置，对所述保持架移动机构进行使所述球心的位置与所述第一轴与所述第二轴的所述交点一致的控制。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于，

所述测定对象物是用于加工光学透镜的加工器皿，

在构成所述被测定面的所述加工器皿的表面设置有弹性体。

3.根据权利要求2所述的形状测定装置，其特征在于，

所述传感器以预先计算出的、在加工所述光学透镜时作用于所述加工器皿的表面的压力，对所述被测定面进行加压。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

所述传感器在与所述被测定面接触的部位具有引导机构，该引导机构沿所述被测定面对所述传感器进行引导。

5.根据权利要求4所述的形状测定装置，其特征在于，

所述引导机构具有一个以上的转子。

6.根据权利要求5所述的形状测定装置，其特征在于，

所述控制装置计算所述转子的偏心量，并根据所述偏心量来校正从所述传感器输出的所述测定值。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

所述传感器在所述第二轴上的位置能够根据所述被测定面的全局的形状来调节。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

该形状测定装置还具有保持架旋转机构，该保持架旋转机构使所述保持架绕所述第三轴旋转。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

所述控制装置根据通过所述传感器测定在表面的至少一部分具有正球面的主装置而获得的测定值，来计算所述形状测定装置的组装误差，并使用所述组装误差来校正从所述传感器输出的所述被测定面的所述测定值。

10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

所述控制装置具有存储部，该存储部存储针对所述形状测定装置而预先获取的关于测长距离的信息，

所述控制装置使用所述关于测长距离的信息，来校正所述传感器与所述被测定面的距离导致的所述测定值的误差。

11.根据权利要求1至9中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

该形状测定装置还具有温度计测器，该温度计测器对所述形状测定装置的周围的温度进行计测，

所述控制装置具有存储部，该存储部存储针对所述形状测定装置而预先获取的关于温度特性的信息，

所述控制装置使用所述关于温度特性的信息，来校正所述温度的变化导致的所述测定值的误差。

12.根据权利要求1至11中的任意一项所述的形状测定装置，其特征在于，

所述控制装置根据所述传感器所测定出的所述被测定面和所述测定对象物的外周面的测定值，来计算所述外周面相对于所述被测定面的偏心量。