[发明专利]无规共聚物、抗蚀剂组合物、滤色器及无规共聚物的制造方法有效
申请号: | 201780013043.5 | 申请日: | 2017-02-09 |
公开(公告)号: | CN108713031B | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 清水良平;坂本圭亮;笹本慎;高野启 | 申请(专利权)人: | DIC株式会社 |
主分类号: | C08F220/22 | 分类号: | C08F220/22;C08F2/38;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/033 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 共聚物 抗蚀剂 组合 滤色器 制造 方法 | ||
1.一种彩色抗蚀剂组合物,其特征在于,含有无规共聚物(A)、颜料(B)、碱可溶性树脂(C)及聚合性化合物(D),其中所述无规共聚物(A)为聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)的无规共聚物,并且,重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0~1.8,所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1~6的氟化烷基和聚合性不饱和基团,所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。
2.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂组合物,其中,所述聚合性单体(a2)所具有的桥环烃的骨架为金刚烷环、二环戊烷环、二环戊烯环、降冰片烷环或降冰片烯环。
3.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂组合物,其中,所述聚合性单体(a2)所具有的桥环烃的骨架为金刚烷环。
4.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂组合物,其中,所述聚合性单体(a1)为下述通式(1)所示的单体,
上述通式(1)中,R1表示氢原子、氟原子、甲基、氰基、苯基、苄基或-CnH2n-Rf’;n表示1~8的整数,Rf’表示下述式(Rf-1)~(Rf-4)中的任一基团;X表示下述式(X-1)~(X-10)中的任一基团;Rf表示下述式(Rf-1)~(Rf-4)中的任一基团,
-OCnH2n- (X-1)
上述式(X-1)、(X-3)、(X-4)、(X-5)、(X-6)及(X-7)中的n表示1~8的整数;上述式(X-8)、(X-9)及(X-10)中的m表示1~8的整数,n表示0~8的整数;上述式(X-6)及(X-7)中的Rf”表示下述式(Rf-1)~(Rf-4)中的任一基团,
-CnF2n+1 (Rf-1)
-CnF2nH (Rf-2)
-CnF2n-1 (Rf-3)
—CnF2n-3 (Rf-4)
上述式(Rf-1)及(Rf-2)中的n表示1~6的整数;上述式(Rf-3)中的n表示2~6的整数;上述式(Rf-4)中的n表示4~6的整数。
5.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂组合物,其重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.0~1.5。
6.根据权利要求1所述的彩色抗蚀剂组合物,其中,所述颜料(B)为选自由C.I.颜料红177、C.I.颜料红207、C.I.颜料红254、C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58、C.I.颜料绿59、C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄93、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄129、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄154、C.I.颜料黄180、C.I.颜料黄185、C.I.颜料蓝15:1、C.I.颜料蓝15:2、C.I.颜料蓝15:6及C.I.颜料紫23组成的组中的一种以上的颜料。
7.一种滤色器,其特征在于,在基板上形成有权利要求1~6中任一项所述的彩色抗蚀剂组合物的涂膜层。
8.一种彩色抗蚀剂组合物的制造方法,其特征在于,所述彩色抗蚀剂组合物含有无规共聚物(A)、颜料(B)、碱可溶性树脂(C)及聚合性化合物(D),其中所述无规共聚物(A)通过下述来制造:使聚合性单体(a1)与聚合性单体(a2)在聚合性单体(a1)和聚合性单体(a2)的共存下进行活性自由基聚合,所述聚合性单体(a1)具有与氟原子直接键合的碳原子的数目为1~6的氟化烷基和聚合性不饱和基团,所述聚合性单体(a2)具有桥环烃的骨架和聚合性不饱和基团。
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