[发明专利]基板浮起输送装置

权利要求书

1.一种基板浮起输送装置，其特征在于，

该基板浮起输送装置具有：

浮起载台，其使基板浮起；

基板保持单元，其对借助所述浮起载台而浮起的基板进行保持；以及

输送驱动部，其在利用所述基板保持单元对基板进行了保持的状态下使所述基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，

所述基板保持单元具有：

多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及

保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，

所述保持框架部借助升降部而设置于所述输送驱动部，并形成为：通过使所述升降部进行动作，从而所述保持框架部进行升降动作而使所有的所述吸附部相对于基板进行接近或离开动作，

所述输送驱动部具有沿着所述浮起载台移动的基座部，该基座部与所述保持框架部借助所述升降部而连结，与该升降部分开地设置有对所述基座部与所述保持框架部的连结进行强化的强化支承部，

所述强化支承部配置于所有设置有所述吸附部的位置。

2.根据权利要求1所述的基板浮起输送装置，其特征在于，

所述强化支承部具有仅允许特定的一个方向上的变位的引导部件，通过该引导部件将所述基座部与所述保持框架部连结。

3.根据权利要求1或2所述的基板浮起输送装置，其特征在于，

所述强化支承部在输送方向上配置于设置有所述吸附部的位置。

4.根据权利要求1或2所述的基板浮起输送装置，其特征在于，

在所述强化支承部中设置有根据所述保持框架部的升降动作而进行伸缩动作的弹簧部，通过所述弹簧部的复原力对所述基座部与所述保持框架部的连结进行强化。

5.根据权利要求1或2所述的基板浮起输送装置，其特征在于，

在所述强化支承部中设置有对所述保持框架部的升降方向上的变位进行限制的变位限制机构。

6.根据权利要求5所述的基板浮起输送装置，其特征在于，

所述变位限制机构是通过对所述强化支承部的引导部件上的所述保持框架部的升降方向上的变位进行约束而形成的，其中，所述引导部件将所述基座部与所述保持框架部连结，并且仅允许特定的一个方向上的变位。