[发明专利]MEMS设备和方法

权利要求书

1.一种MEMS换能器，包括：一个柔性膜，所述柔性膜具有包括至少一个可移动部分的通气口结构，其中所述可移动部分通过具有宽度的单个连接部分连接到所述膜的其余部分，且其中所述可移动部分关于一个假想线不对称，该假想线在大体上正交于所述连接部分的宽度的方向上从所述连接部分的中心延伸横跨所述可移动部分。

2.一种MEMS换能器，包括：

一个柔性膜，所述柔性膜具有包括至少一个可移动部分的通气口结构，所述至少一个可移动部分通过单个接头结构连接到所述膜，所述通气口结构被配置成使得，响应于所述通气口结构两侧的压力差，所述可移动部分能够绕第一旋转轴线和第二旋转轴线旋转，当所述通气口结构在平衡位置时，这些旋转轴线在所述膜的平面中延伸，其中所述第一旋转轴线和所述第二旋转轴线在所述接头结构处相交。

3.根据权利要求2所述的MEMS换能器，其中所述接头结构包括具有宽度的连接部分，且其中所述第一旋转轴线具有在所述膜的平面中与所述连接部分的宽度大体上重合或平行的分量。

4.根据权利要求2或3所述的MEMS换能器，其中所述第二旋转轴线具有大体上垂直于所述第一旋转轴线的分量。

5.根据权利要求2或3所述的MEMS换能器，其中绕所述第一旋转轴线的旋转倾向于导致所述可移动部分偏转到所述膜的平面以上或以下。

6.根据权利要求2或3所述的MEMS换能器，其中绕所述第二旋转轴线的旋转倾向于导致相应的可移动部分相对于所述膜的平面倾斜。

7.根据权利要求2或3所述的MEMS换能器，其中所述第一旋转轴线和第二旋转轴线相互正交。

8.一种MEMS换能器，包括一个柔性膜，所述柔性膜具有包括至少一个可移动部分的通气口结构，其中所述/每个可移动部分通过具有连接部分的单个接头结构连接到所述膜，所述通气口结构被配置成使得，响应于所述通气口结构两侧的压力差，所述可移动部分能够绕具有垂直于所述连接部分的宽度的分量的旋转轴线旋转。

9.一种MEMS换能器，包括：

一个柔性膜，所述柔性膜具有包括至少一个可移动部分的通气口结构，其中所述可移动部分通过具有宽度的单个连接部分连接到所述膜的其余部分，且其中一个假想线将所述可移动部分分成第一部段和第二部段，所述第一部段具有比所述第二部段更大的表面面积，所述假想线在大体上正交于所述连接部分的宽度的方向上从所述连接部分的中心延伸横跨所述可移动部分。

10.根据权利要求1、8或9中的任一项所述的MEMS换能器，其中，响应于所述通气口结构两侧的压力差，所述可移动部分能够绕在所述可移动部分的平面中具有垂直于所述连接部分的宽度的分量的旋转轴线旋转。

11.根据权利要求1、2、8或9中的任一项所述的MEMS换能器，其中，所述可移动部分旋转以暴露所述膜中的孔隙，从而提供穿过所述膜的流动路径。

12.根据权利要求11所述的MEMS换能器，其中所述通气口结构包括三个可移动部分，所述三个可移动部分围绕所述膜中的所述孔隙的外周边布置。

13.根据权利要求1、2、8或9中的任一项所述的MEMS换能器，其中，所述可移动部分或每个可移动部分具有平衡位置，在所述平衡位置，所述膜两侧的压力差是可忽略的，且在所述平衡位置，穿过所述通气口结构的流动路径在最小值处。

14.根据权利要求1、2、8或9中的任一项所述的MEMS换能器，其中所述柔性膜被支撑在第一容积和第二容积之间，且其中流动路径在所述第一容积和所述第二容积之间。