[发明专利]喷雾器喷嘴、成膜装置、及成膜方法

权利要求书

1.一种喷雾器喷嘴，其中，该喷雾器喷嘴适用于通过向基材同时喷射载气及膜材料从而在该基材上成膜的成膜装置，该喷雾器喷嘴的特征在于，具备：

气体入口部，该气体入口部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小；

与所述气体入口部相连的通路扩大部，该通路扩大部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而扩大；

与所述通路扩大部相连的开口形成部，该开口形成部上形成有将所述载气的通道与外部空间连通的一个或多个开口；以及

与所述开口形成部相连的气体出口部，该气体出口部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小。

2.根据权利要求1所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述一个或多个开口形成在所述开口形成部的靠所述气体出口部侧的末端部，或形成在该末端部附近。

3.根据权利要求1或2所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述气体出口部及所述开口形成部相互形成为一体并且相对于所述通路扩大部可拆装。

4.根据权利要求1或2所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述气体出口部相对于所述开口形成部可拆装。

5.一种喷雾器喷嘴，其中，该喷雾器喷嘴适用于通过向基材同时喷射载气及膜材料从而在该基材上成膜的成膜装置，该喷雾器喷嘴的特征在于，具备：

气体入口部，该气体入口部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小；

与所述气体入口部相连的通路扩大部，该通路扩大部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而扩大，并且该通路扩大部上形成有将所述载气的通道与外部空间连通的一个或多个开口；以及

与所述通路扩大部相连的气体出口部，该气体出口部中，所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小。

6.根据权利要求5所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述一个或多个开口形成在所述通路扩大部的靠所述气体出口部侧的末端部，或形成在该末端部附近。

7.根据权利要求5或6所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述气体出口部相对于所述通路扩大部可拆装。

8.根据权利要求4或7所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述气体出口部具备外侧筒部、以及收纳在所述外侧筒部的内部且对所述载气的通道进行界定的通道界定部，

所述通道界定部相对于所述外侧筒部可拆装。

9.根据权利要求8所述的喷雾器喷嘴，其特征在于：

所述通道界定部由树脂制成。

10.一种成膜装置，其特征在于：

具备权利要求1～9中任一项所述的喷雾器喷嘴。

11.一种成膜方法，其特征在于：

使用权利要求1～9中任一项所述的喷雾器喷嘴，从所述喷雾器喷嘴同时喷射所述载气及所述膜材料，从而在所述基材上成膜。

12.根据权利要求11所述的成膜方法，其特征在于：

所述成膜方法被用于喷涂法。