[发明专利]具有消音器的真空泵

说明书

真空泵包括布置在吸入室(22)中的转子元件(44)。出口管道(30)连接到排气管路(58)。为了消音的目的，在出口管道中提供声音膨胀空间(44)，其被集成到泵壳体(10,36)中。作为这些声音膨胀空间的替代或附加，声音膨胀空间可以被提供在用于气镇的入口的入口管道(32)中，所述声音膨胀空间优选地同样被集成到泵壳体(36)中。

【技术领域】

本发明涉及一种真空泵，特别是双轴真空泵，诸如爪式真空泵或罗茨真空泵。

【背景技术】

这种真空泵包括泵壳体，该泵壳体限定了吸入室。吸入室连接有气体入口和气体出口。在吸入室内部布置有转子元件，其中在爪式泵或罗茨泵等的情况下，它们是布置在两个轴上的转子元件。两个轴分别被支撑在泵壳体中。真空泵特别地被配置为多级真空泵。根据要求，通常的做法是将最后的各级中的一级与用于气镇(“gas ballast”)的入口的入口管道连接。在此，例如具有大气压的空气或其它气体可用作气镇。

特别是在具有高轴速度的预真空泵的情况下，当对着大气进行抽吸时会发出大的噪音。为了消除噪音，通常的做法是将外部消音器连接到气体出口。即使设置了用于气镇的入口管道，当气镇对着大气而打开时也会产生很大的噪音。为了消除这种声音，通常的做法是还在气镇入口处设置外部消音器。连接到真空泵的消音器通常包括布置在消音器中的消音材料。在潮湿的情况下，特别是当抽吸湿的气体时，这是不利的，因为水汽积聚在消音器中并且可以损坏它并且需要长的干燥时间。液体吸收可能导致消音效果的丧失或至少导致消音效果的恶化。进一步地，污染物可能沉积在这种吸收材料中，其中消音器的清洁是一个复杂的过程。

特别是当真空泵用于实验室或人员工作的其它领域时，需要对发生的噪声进行消音。然而，在此提供外部消音器是不利的，因为它们需要附加的空间。这在实验室等中是特别不利。

【发明内容】

本发明的目的是开发一种真空泵，其中可以采用简单且节省空间的方式而实现消音。

根据本发明，该目的是分别通过权利要求1和2的特征而实现的。

根据本发明的消音真空泵特别是对抗大气输送的预真空泵。特别地，它们是双轴真空泵，例如爪式泵或罗茨泵。

真空泵包括布置在泵壳体中的吸入室。吸入室连接有气体入口和气体出口。在吸入室内部布置转子元件，其中，优选地，这些转子元件由支撑在泵壳体中的两个轴保持。优选地，在输送方向上，多个转子元件，特别是转子元件对是一个接一个地布置的，使得形成多个连续的泵级。根据本发明的真空泵可以是具有或不具有用于气镇的入口管道的真空泵。如果提供了用于气镇的入口管道，则该入口管道优选地通向大气，使得环境空气被用作气镇。同样地，取决于应用领域，可以使用另一种气体作为气镇，使得气镇连接到对应的气体供应系统。气镇的入口管道通常连接到最后的各泵级中的一个泵级。

根据本发明的第一优选实施例，当使用气镇时发生的大的且可能地高频的噪声被消音。为此目的，在入口管道的管道区段之间布置至少一个声音膨胀空间，特别是将至少一个声音膨胀空间集成到泵壳体中。通过提供至少一个这样的声音膨胀空间，根据膨胀式消音器的原理来执行消音。

根据独立的发明的第二优选实施例，提供了一种真空泵，其可以不包括用于气镇的入口管道或者其中这样的入口未提供有至少一个声音膨胀空间，其中特别是最后的泵级的气体出口连接有排放管道。优选地，排放管道连接有排气管路或排泄装置，气体通过排气管路输送到大气中。为了消音的目的，在排放管道的管道区段之间设置至少一个声音膨胀空间，该声音膨胀空间是集成到泵壳体中的。

真空泵的另一优选实施例是上述两个实施例的组合。因此，在这种真空泵中，因此提供了一方面具有至少一个声音膨胀空间的用于气镇的入口管道，以及另一方面具有至少一个声音膨胀空间的排放管道。