[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

第一照射单元，所述第一照射单元能够射出第一光；

第二照射单元，所述第二照射单元能够射出第二光；

第一偏振分光器，所述第一偏振分光器作为第一输入输出部能够将从所述第一照射单元入射的所述第一光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一种偏振光作为测量光照射至被测量物，且将另一种偏振光作为参照光照射至参照面，并且能够将经由所述被测量物入射的所述第二光涉及的测量光和经由所述参照面入射的所述第二光涉及的参照光合成而射出；

第二偏振分光器，所述第二偏振分光器作为第二输入输出部能够将从所述第二照射单元入射的所述第二光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一种偏振光作为测量光照射至被测量物，且将另一种偏振光作为参照光照射至参照面，并且能够将经由所述被测量物入射的所述第一光涉及的测量光和经由所述参照面入射的所述第一光涉及的参照光合成而射出；

第一1/4波长板，所述第一1/4波长板配置在所述第一偏振分光器与所述参照面之间；

第二1/4波长板，所述第二1/4波长板配置在所述第一偏振分光器与所述被测量物之间；

第三1/4波长板，所述第三1/4波长板配置在所述第二偏振分光器与所述参照面之间；

第四1/4波长板，所述第四1/4波长板配置在所述第二偏振分光器与所述被测量物之间；

第一拍摄单元，所述第一拍摄单元能够拍摄通过将所述第一光入射至所述第一偏振分光器而从所述第二偏振分光器射出的所述第一光涉及的输出光；

第二拍摄单元，所述第二拍摄单元能够拍摄通过将所述第二光入射至所述第二偏振分光器而从所述第一偏振分光器射出的所述第二光涉及的输出光；以及

图像处理单元，所述图像处理单元能够基于由所述第一拍摄单元和所述第二拍摄单元拍摄的干涉条纹图像执行所述被测量物的三维测量，

所述第一照射单元

包括能够射出包含第一波长偏振光的第一波长光的第一波长光射出部和能够射出包含第二波长偏振光的第二波长光的第二波长光射出部，

构成为能够射出包含所述第一波长偏振光和所述第二波长偏振光的所述第一光，

所述第二照射单元

包括能够射出包含第三波长偏振光的第三波长光的第三波长光射出部和/或能够射出包含第四波长偏振光的第四波长光的第四波长光射出部，

构成为能够射出包含所述第三波长偏振光和/或所述第四波长偏振光的所述第二光，

所述第一拍摄单元包括：

第一波长光拍摄部，当包含所述第一波长偏振光的所述第一光入射至所述第一偏振分光器时，所述第一波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述第二偏振分光器射出的所述第一光涉及的输出光中的所述第一波长偏振光涉及的输出光；和

第二波长光拍摄部，当包含所述第二波长偏振光的所述第一光入射至所述第一偏振分光器时，所述第二波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述第二偏振分光器射出的所述第一光涉及的输出光中的所述第二波长偏振光涉及的输出光，

所述第二拍摄单元包括：

第三波长光拍摄部，当包含所述第三波长偏振光的所述第二光入射至所述第二偏振分光器时，所述第三波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述第一偏振分光器射出的所述第二光涉及的输出光中的所述第三波长偏振光涉及的输出光；和/或

第四波长光拍摄部，当包含所述第四波长偏振光的所述第二光入射至所述第二偏振分光器时，所述第四波长光拍摄部能够拍摄包含于从所述第一偏振分光器射出的所述第二光涉及的输出光中的所述第四波长偏振光涉及的输出光。

2.如权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，包括：

第一导光单元，所述第一导光单元使从所述第一照射单元射出的第一光的至少一部分朝向所述第一输入输出部入射，并且使从所述第一输入输出部射出的所述第二光涉及的输出光的至少一部分朝向所述第二拍摄单元入射；以及

第二导光单元，所述第二导光单元使从所述第二照射单元射出的第二光的至少一部分朝向所述第二输入输出部入射，并且使从所述第二输入输出部射出的第一光涉及的输出光的至少一部分朝向所述第一拍摄单元入射。