[发明专利]液滴沉积头部及用于其的歧管部件

权利要求书

1.一种液滴沉积头部，包括：

一个或更多个歧管部件，所述一个或更多个歧管部件提供一个或更多个流体入口，所述流体入口中的每一个能够连接到流体供应系统，使得所述液滴沉积头部能够接收液滴流体；和

两个或更多个流体室阵列，每个流体室设置有相应的致动元件和相应的喷嘴，每个致动元件是可致动的以通过所述喷嘴中对应的一个喷嘴在喷射方向上喷射流体液滴，每个流体室阵列在阵列方向上延伸；

其中所述液滴沉积头部在所述喷射方向上从第一端部延伸到第二端部，所述一个或更多个流体入口位于所述第一端部处，所述流体室阵列位于所述第二端部处；

其中两个或更多个分支入口路径在所述喷射方向上在所述歧管部件的高度的第一部分上设置在所述歧管部件内，所述两个或更多个分支入口路径中的每一个被流体地连接以便在其主分支处从所述流体入口中的相应的一个流体入口接收流体，在一个或更多个分支点处分支成两个或更多个子分支，并且以多个端部子分支结束，流体被输送到所述多个端部子分支；

其中多个变宽入口室在所述喷射方向上在所述歧管部件的高度的第二部分上设置在所述歧管部件内，每个变宽入口室在所述阵列方向上的宽度随着在所述喷射方向上从其第一端部到第二端部的距离而增加，每个变宽入口室的所述第一端部被流体地连接以便从所述两个或更多个分支入口路径中的一个或更多个接收流体，并且每个变宽入口室的所述第二端部被流体地连接以便为所述流体室阵列中的一个或更多个供应流体；

其中所述两个或更多个分支入口路径中的每一个被流体地连接，以便为所述变宽入口室中的两个或更多个供应流体；并且

其中第一分支入口路径的第一子分支相对于所述喷射方向在一侧上与第二分支入口路径的第一子分支交叉，并且所述第一分支入口路径的第二子分支相对于所述喷射方向在另一侧上与所述第二分支入口路径的第二子分支交叉。

2.根据权利要求1所述的液滴沉积头部，其中，每个变宽入口室在其第二端部处在所述阵列方向上的宽度大体上等于每个变宽入口室为其供应流体的所述流体室阵列的宽度。

3.根据权利要求1所述的液滴沉积头部，其中，每个变宽入口室在所述喷射方向上的范围等于或大于其在所述阵列方向上的范围。

4.根据权利要求1所述的液滴沉积头部，还包括横穿所述两个或更多个分支入口路径的大致平面的过滤器。

5.根据权利要求4所述的液滴沉积头部，其中，所述过滤器在垂直于所述喷射方向的平面中延伸。

6.根据权利要求4所述的液滴沉积头部，其中，所述两个或更多个分支入口路径中的每一个引导流体克服重力穿过所述过滤器。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的液滴沉积头部，其中，所述多个歧管部件还提供一个或更多个流体出口，所述流体出口中的每一个能够连接到流体供应系统，使得所述液滴沉积头部能够将液滴流体返回到所述流体供应系统；并且

其中一个或更多个分支出口路径在所述喷射方向上在所述歧管部件的高度的第三部分上设置在所述歧管部件内，所述分支出口路径中的每一个被流体地连接以便从其主分支为所述流体出口中的相应的一个供应流体，在一个或更多个分支点处分支成两个或更多个子分支，并以多个端部子分支结束，流体从所述多个端部子分支被输送；

其中多个变窄出口室在所述喷射方向上在所述歧管部件的高度的第四部分上设置在所述歧管部件内，每个变窄出口室在所述阵列方向上的宽度随着在所述喷射方向上从其第一端部到第二端部的距离而减小，每个变窄出口室的所述第一端部被流体地连接以便从所述流体室阵列中的一个或更多个接收流体，并且每个变窄出口室的所述第二端部被流体地连接以便为所述分支出口路径中的一个或更多个供应流体；

其中所述分支出口路径中的每一个被流体地连接，以便从所述变窄出口室中的两个或更多个接收流体。

8.根据权利要求7所述的液滴沉积头部，其中，所述歧管部件的高度的所述第一部分与所述第三部分相同，和/或所述歧管部件的高度的所述第二部分与所述第四部分相同。