[发明专利]玻璃母材的制造方法及制造装置在审
申请号: | 201780015252.3 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN108779011A | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 大关伸男 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | C03B8/04 | 分类号: | C03B8/04;C03B37/018 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 原料化合物 质量流量控制器 玻璃母材 气化 脱气 加压 有机硅化合物 气体加压 溶解气体 制造装置 燃烧器 制造 燃烧 | ||
1.一种玻璃母材的制造方法,其中,
利用加压用气体加压而输送含有有机硅化合物的液态的原料化合物,
从所述加压后的所述原料化合物将溶解气体脱气,
利用质量流量控制器控制所述脱气后的所述原料化合物的流量,
使经过所述质量流量控制器输送的所述原料化合物气化,
利用燃烧器使所述气化后的所述原料化合物燃烧而生成SiO2。
2.根据权利要求1所述的玻璃母材的制造方法,其中,所述溶解气体的脱气时,所述原料化合物的比表面积为0.75mm-1以上且所述原料化合物的真空暴露时间为18秒以上。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃母材的制造方法,其中,所述玻璃母材为光纤母材。
4.一种玻璃母材的制造装置,具备:
送液流路,利用加压用气体加压而输送含有有机硅化合物的液态的原料化合物;
脱气装置,在所述送液流路的中途,从所述加压后的所述原料化合物将溶解气体脱气;
质量流量控制器,在所述送液流路的中途,控制经过所述脱气装置的脱气后的所述原料化合物的流量;
气化器,使经过所述质量流量控制器的所述原料化合物气化;以及
燃烧器,使经过所述气化器的气化后的所述原料化合物燃烧而生成SiO2。
5.根据权利要求4所述的玻璃母材的制造装置,其中,在所述脱气装置中,所述原料化合物的比表面积为0.75mm-1以上且所述原料化合物的真空暴露时间为18秒以上。
6.根据权利要求4或5所述的玻璃母材的制造装置,其中,所述玻璃母材为光纤母材。
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