[发明专利]玻璃母材的制造方法及制造装置在审

专利信息
申请号: 201780015252.3 申请日: 2017-04-05
公开(公告)号: CN108779011A 公开(公告)日: 2018-11-09
发明(设计)人: 大关伸男 申请(专利权)人: 株式会社藤仓
主分类号: C03B8/04 分类号: C03B8/04;C03B37/018
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;金世煜
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 原料化合物 质量流量控制器 玻璃母材 气化 脱气 加压 有机硅化合物 气体加压 溶解气体 制造装置 燃烧器 制造 燃烧
【权利要求书】:

1.一种玻璃母材的制造方法,其中,

利用加压用气体加压而输送含有有机硅化合物的液态的原料化合物,

从所述加压后的所述原料化合物将溶解气体脱气,

利用质量流量控制器控制所述脱气后的所述原料化合物的流量,

使经过所述质量流量控制器输送的所述原料化合物气化,

利用燃烧器使所述气化后的所述原料化合物燃烧而生成SiO2

2.根据权利要求1所述的玻璃母材的制造方法,其中,所述溶解气体的脱气时,所述原料化合物的比表面积为0.75mm-1以上且所述原料化合物的真空暴露时间为18秒以上。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃母材的制造方法,其中,所述玻璃母材为光纤母材。

4.一种玻璃母材的制造装置,具备:

送液流路,利用加压用气体加压而输送含有有机硅化合物的液态的原料化合物;

脱气装置,在所述送液流路的中途,从所述加压后的所述原料化合物将溶解气体脱气;

质量流量控制器,在所述送液流路的中途,控制经过所述脱气装置的脱气后的所述原料化合物的流量;

气化器,使经过所述质量流量控制器的所述原料化合物气化;以及

燃烧器,使经过所述气化器的气化后的所述原料化合物燃烧而生成SiO2

5.根据权利要求4所述的玻璃母材的制造装置,其中,在所述脱气装置中,所述原料化合物的比表面积为0.75mm-1以上且所述原料化合物的真空暴露时间为18秒以上。

6.根据权利要求4或5所述的玻璃母材的制造装置,其中,所述玻璃母材为光纤母材。

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