[发明专利]清洁装置

说明书

本发明提供一种维护性优异，并且可更确实地去除微细的异物的清洁装置。本发明是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括表侧刷辊单元，可装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，可装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。优选为具备用以调节所述表侧刷辊单元、及所述表侧树脂辊单元各自的高度的高度调节机构。

技术领域

本发明涉及一种清洁装置。

背景技术

近年来，开发有一种清洁装置，所述清洁装置用以去除附着于平板显示器(FlatPanel Display，FPD)用的玻璃基板、或树脂基板、或电子零件搭载用印刷基板、或用以形成层叠陶瓷电容器等的陶瓷生片(ceramic green sheet)、或树脂薄板、或长条膜等对象物表面上的尘埃等异物。

作为此种清洁装置，例如提出有如下的清洁装置：利用带电刷去除对象物表面的异物，并利用电场力(electric field force)且利用清洁辊来搬送及回收所述经去除的异物(参照日本专利特开2011-92846号公报)。

但是，在现有的清洁装置中，通常将带电刷或清洁辊固定于装置的框体内，因此在装置的维护时必须将装置分解，在维护性的方面存在问题。另外，具备带电刷的清洁装置可利用带电刷来去除毫米尺寸的比较大的异物，但存在产生带电刷不接触对象物表面的部分，而无法去除所述非接触部分上所存在的异物(特别是微细的异物)的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011-92846号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是基于如上述情况而成的，其目的在于提供一种维护性优异，并且可更确实地去除微细的异物的清洁装置。

解决问题的技术手段

为了解决所述课题而成的发明是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括表侧刷辊单元，可装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，可装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。

所述清洁装置将去除对象物的表侧表面的异物的表侧刷辊及表侧清洁辊分别加以单元化并可装卸地配设，由此可容易地卸下表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元。因此，所述清洁装置的各构成要素的维护容易进行。

此外，所述清洁装置在对象物的上方具备自对象物的表侧表面上去除异物的表侧刷辊及表侧清洁辊，由此不仅可自对象物的表侧表面上去除毫米尺寸的比较大的异物，也可去除微细的异物。即，所述清洁装置可利用表侧刷辊而自对象物的表侧表面上刮取并去除毫米尺寸的比较大的异物，并且可利用表侧清洁辊而自对象物的表侧表面上吸附去除微细的异物。如此，所述清洁装置可去除在FPD或半导体等的制造工序中所产生的各种尺寸或材质的异物，因此与现有的清洁装置相比，清洁性格外优异。

所述清洁装置优选为具备用以调节表侧刷辊单元、及表侧清洁辊单元各自的高度的高度调节机构。如此，通过所述清洁装置具备高度调节机构，可调节对于对象物的表侧刷辊的压接量或表侧清洁辊的按压力(夹持宽度)。由此，可高效率地进行利用表侧刷辊的比较大的异物的去除、及利用表侧清洁辊的微细的异物的去除。尤其，因表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元可装卸，故可在各个单元中设置独立的高度调节机构，而调节各自的高度。由此，即便表侧刷辊与对象物的最适宜的压接条件不同于表侧清洁辊与对象物的最适宜的压接条件，也可利用独立的高度调节机构，而分别使对于对象物的压接条件最适宜化。