[发明专利]光照射装置有效
申请号: | 201780015708.6 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN108885405B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 樱井显治 | 申请(专利权)人: | CCS株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B3/00;G02B19/00 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 照射 装置 | ||
为了提供一种能够廉价地实现大面积的面光源的光照射装置,具备4个照射单元和定位构件,LED基板具备LED基准端面以及以LED基准端面为基准而基于距该LED基准端面的距离排列的多个LED,透镜阵列具备透镜基准端面以及以所述透镜基准端面为基准而基于距该透镜基准端面的距离排列的多个透镜,4个所述照射单元以及4个配置基准面配置成4次旋转对称,1个所述照射单元中的所述LED基准端面以及所述透镜基准端面被相对于1个所述配置基准面推压。
技术领域
本发明涉及一种排列有多个LED基板的光照射装置。
背景技术
例如,在用于电子电路基板的曝光装置中,以往,作为光源而使用水银灯(参照专利文献1)。近年来,为了实现功耗、排放CO2的削减、光源的长寿命化、由未使用的水银等带来的环境负荷的降低,逐渐要求在曝光装置中也取代水银灯而置换成LED光源。
然而,由于1个LED的紫外光的光输出相比水银灯较小,所以,为了得到同等的光输出,需要使用大量的LED,为了在曝光装置中使用,就会成为大面积的面光源。另外,LED是扩散光源,所以,为了将紫外光高效地照射到曝光装置的复眼透镜,需要用透镜使从各LED发出的紫外光向大致平行的方向射出,并且用聚光透镜使各大致平行的紫外光向复眼透镜会聚。
通过做成这样的结构,从而在排列有多个LED的LED基板内,即使1个或者2个左右的LED不亮灯或者放射照度降低,也能在对基板进行曝光的曝光面抑制整体上的放射照度不均。
然而,特别是在从各LED射出的光是紫外光的情况下,如果将透镜阵列设为树脂制成的,则由于其劣化,会损害其功能,所以需要使用玻璃等材料。
然而,玻璃与树脂相比,比重较大,所以如果想要制作例如具有曝光装置所需要的程度的面积的一整张透镜阵列,则会变得非常重。因此,制作大的一整张透镜阵列因制造上的界限、成本的问题而难以实现。另外,如果用粘接剂将透镜连接起来,则由于透镜彼此的位置精度劣化、由紫外光导致的粘接剂的劣化,从而会在长期的耐用性方面存在问题。因此,采用分割成比所需的面积小的多个透镜阵列而进行形成。
然而,如果将透镜阵列分割成多个而形成,则与此相匹配地,需要将LED基板分割而形成。进一步地,为了抑制整体上的放射照度不均而从整体射出均匀的光,必须对各透镜阵列与各LED基板的光轴分别高精度地进行对位。
因此,如果想要制造具有用于曝光装置那样的大面积的面光源的光照射装置,则与水银灯相比,与组装相关的时间劳力变大,制造成本上升,所以,难以得到廉价的装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2010-33094号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是鉴于上述问题而完成的,其目的在于,提供一种仅通过简单的对位就能够使配置于多个LED基板上的多个LED的光轴与多个透镜阵列中形成的多个透镜的光轴高精度地一致、并且能够廉价地实现大面积的面光源的光照射装置。
解决技术问题的技术手段
即,本发明涉及一种光照射装置,其特征在于,具备:4个照射单元,它们具备LED基板以及配置于所述LED基板上的透镜阵列;以及定位构件,其具备4个配置基准面,4个所述照射单元分别被推压到该4个配置基准面,使4个所述照射单元配置于规定的位置,所述LED基板具备LED基准端面、以及以所述LED基准端面为基准而基于距该LED基准端面的距离排列的多个LED,所述透镜阵列具备透镜基准端面、以及以所述透镜基准端面为基准而基于距该透镜基准端面的距离排列的多个透镜,4个所述照射单元以及4个配置基准面配置成4次旋转对称,1个所述照射单元中的所述LED基准端面以及所述透镜基准端面被相对于1个所述配置基准面推压。
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