[发明专利]用于调整来自带电粒子源的粒子束的强度的设备

权利要求书

1.一种用于调整沿轴线(A0)发射的带电粒子束的强度的设备，包括：

4×N个连续的偏转系统(2₁，2₂，2₃，2₄)，其中，N＝1或2，其中，所述偏转系统(2₁，2₂，2₃，2₄)沿着所述粒子束的所述轴线(A0)定位，并且能够使所述束在同一方向上相对于所述轴线(A0)偏转，其中，对于两个连续的系统(2₁，2₂，2₃，2₄)，偏转方向交替，

用于针对每个偏转系统(2₁，2₂，2₃，2₄)施加偏转所述束的力并且用于改变所施加的力的装置，

两个准直器(4₁，4₂)，每个准直器具有槽(6₁，6₂)，所述槽具有宽度从中心朝周边增加的开口，所述两个准直器分别位于第一偏转系统与第二偏转系统之间以及第三偏转系统与第四偏转系统之间，其中，第一准直器(4₁)的槽(6₁)的开口面向所述束的发射轴线(A0)的一侧，并且第二准直器(4₂ )的槽(6₂)的开口面向所述束的发射轴线(A0)的相反侧。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述偏转系统(2₁，2₂，2₃，2₄)中的每个偏转系统是电类型的或磁类型的。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，当所述偏转系统(2₁，2₂，2₃，2₄)是电类型时，每个系统(2₁，2₂，2₃，2₄)由两个平行板(7)组成，所述两个平行板被提供电位且分别布置在所述发射轴线(A0)的两侧。

4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，当所述偏转系统(2₁，2₂，2₃，2₄)是磁类型时，所述偏转系统中的每个偏转系统由磁偶极子组成。

5.根据权利要求1-4中的一项所述的设备，其特征在于，准直器(4₁，4₂)的所述槽(6₁，6₂)具有V形，所述V形具有直的相对边缘或弯曲的相对边缘，所述弯曲的相对边缘朝向所述准直器(4₁，4₂)的其余部分拱起或者朝向由这些边缘限定的空的空间拱起。

6.根据权利要求1-4中的一项所述的设备，其特征在于，每个准直器(4₁，4₂)沿着所述轴线放置，使得每个准直器的所述槽(6₁，6₂)被定位成在所述发射轴线(A0)的一侧，同时相对于这样的轴线(A0)偏移一距离(d)。

7.根据权利要求1至4中的一项所述的设备，其特征在于，每个准直器(4₁，4₂)沿着所述轴线放置，使得每个准直器的所述槽(6₁，6₂)被定位成与所述发射轴线(A0)共线。