[发明专利]编码器装置、驱动装置、载台装置及机械手装置

说明书

具备：具有在规定方向上排列的图案(12)的标尺(11)；获取图案(12)的信息的获取部(20)；和支承部(40)，其相对于标尺(11)和获取部(20)的一者在与规定方向不同的方向上的移动，将标尺(11)和获取部(20)的另一者支承为能够在不同的方向上移动。

技术领域

本发明涉及编码器装置、驱动装置、载台装置及机械手装置。

背景技术

检测旋转信息(有时也称为旋转位置信息)的编码器装置搭载在驱动装置(例如，马达装置)等各种装置(例如，参照下述专利文献1)中。编码器装置具备设于驱动装置的旋转轴并旋转的旋转部(标尺)，通过获取部检测来自该旋转部(标尺)的图案的光或磁而获取旋转信息。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-318439号公报

发明内容

期望编码器装置能够高精度地获取旋转信息。关于编码器装置，例如若旋转轴的位置变动，则会发生旋转部(图案)与获取部的位置偏移。因为这两者的位置偏移，会导致获取的旋转信息的精度下降。

根据本发明的第1方案，提供一种编码器装置，具备：标尺，其具有在规定方向上排列的图案；获取部，其获取图案的信息；和支承部，其相对于标尺和获取部的一者在与规定方向不同的方向上的移动，将标尺和获取部的另一者支承为能够在不同的方向上移动。

根据本发明的第2方案，提供一种编码器装置，具备：第1标尺，其安装在第1测定轴，且具有在第1方向上排列的第1图案；第1获取部，其获取第1图案的信息；第2标尺，其安装在经由动力传动机构与第1测定轴连结的第2测定轴，且具有在第2方向上排列的第2图案；第2获取部，其获取第2图案的信息；和支承部，其相对于第2标尺和第2获取部的一者在与第2方向不同的方向上的移动，将第2标尺和第2获取部的另一者支承为能够在不同的方向上移动。

根据本发明的第3方案，提供一种驱动装置，具备：供给驱动力的驱动部；和与驱动部连接的根据第1方案的编码器装置。

根据本发明的第4方案，提供一种驱动装置，具备：根据第2方案的编码器装置；和向第1测定轴及第2测定轴的至少一者供给驱动力的驱动部。

根据本发明的第5方案，提供一种载台装置，具备：移动体；和使移动体移动的根据第3方案或第4方案的驱动装置。

根据本发明的第6方案，提供一种机械手装置，具备根据第3方案或第4方案的驱动装置。

附图说明

图1是表示第1实施方式的编码器装置的一例的图，(A)为剖视图，(B)为俯视图，(C)为局部的侧视图。

图2是表示旋转轴偏心移动后的状态的图。

图3是表示第2实施方式的编码器装置的一例的图，(A)为剖视图，(B)为俯视图，(C)为局部的侧视图。

图4是表示第3实施方式的编码器装置的一例的图，(A)为剖视图，(B)为俯视图。

图5是表示第4实施方式的编码器装置的一例的图，(A)为剖视图，(B)为俯视图。

图6是表示第5实施方式的编码器装置的一例的图，(A)为剖视图，(B)为俯视图。

图7是表示第6实施方式的编码器装置的一例的剖视图。

图8的(A)及图8的(B)是表示在第6实施方式中旋转轴移动后的状态的剖视图。

图9是表示第7实施方式的编码器装置的一例的图，(A)为剖视图，(B)为俯视图。

图10是表示第8实施方式的编码器装置的一例的剖视图。