[发明专利]曝光用光源模块单元以及设置有所述光源模块单元的曝光装置

权利要求书

1.一种曝光用光源模块单元，其特征在于，包括：

光源面板(110)，其设置为多个单位紫外线发光元件(111)以矩阵形态的阵列结构安装于电路板(112)上，并装载于支撑面板(113)；

第一光学面板(120)，其以与所述光源面板(110)相面对的形式形成，透镜面板(122)配置于所述单位紫外线发光元件(111)的光射出侧，在透镜面板(122)，多个单位聚光透镜(121)设置为从分别与所述单位紫外线发光元件(111)相对应的位置针对主光轴向经过位于所述光源面板(110)上的紫外线发光元件阵列中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构，

所述单位聚光透镜(121)的光入射面形成为具有设定为(-)0.15曲率R(+)0.15范围的结构，光射出面形成为凸透镜，所述单位紫外线发光元件(111)和单位聚光透镜(121)的间隔距离C1排列为相对于单位聚光透镜(121)的直径d满足0.15C1/d0.5的值；

各所述单位聚光透镜(121)配置为，随着从经过其中心的任意的基准中心轴线侧逐渐隔开且配置于边缘，相对于与其相对应的单位紫外线发光元件(111)的主光轴向基准中心轴线侧偏心的距离逐渐增加；

所述多个单位紫外线发光元件(111)和所述多个单位聚光透镜(121)分别配置于以所述间隔距离C1程度隔开的两个平面上。

2.根据权利要求1所述的曝光用光源模块单元，其特征在于，

所述单位聚光透镜(121)的直径d形成为相对于所述单位紫外线发光元件(111)和所述单位聚光透镜(121)的间隔距离C1满足2.8d/C15.8的值。

3.根据权利要求1所述的曝光用光源模块单元，其特征在于，

还设置有第二光学面板(130)，第二光学面板(130)平行排列于第一光学面板(120)的光射出侧，

在所述第二光学面板(130)，将光入射面和光射出面分别设置为凸透镜的多个单位聚光透镜(131)设置为从分别与所述单位紫外线发光元件(111)相对应的位置针对主光轴向经过位于所述光源面板(110)上的紫外线发光元件阵列中心的任意的基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的阵列结构。

4.根据权利要求3所述的曝光用光源模块单元，其特征在于，

所述第一光学面板(120)的单位聚光透镜(121)和所述第二光学面板(130)的单位聚光透镜(131)的间隔距离C2排列为相对于所述第二光学面板(130)的单位聚光透镜(131)的直径d2满足C2/d20.8的值。

5.根据权利要求4所述的曝光用光源模块单元，其特征在于，

所述第二光学面板(130)的单位聚光透镜(131)的直径d2形成为相对于所述第一光学面板(120)的单位聚光透镜(121)的直径d满足0.7d2/d1.2的值。

6.根据权利要求3至5的任意一项所述的曝光用光源模块单元，其特征在于，

所述第一光学面板(120)的单位聚光透镜(121)和所述第二光学面板(130)的单位聚光透镜(131)设置为从经过位于所述光源面板上的紫外线发光元件阵列中心的任意的基准中心轴线侧逐渐隔开且越靠近边缘配置越使得针对相对应的单位紫外线发光元件的主光轴的偏心量增加的矩阵形态的阵列结构，并且使得从各个单位紫外线发光元件照射出来的扩散光聚集在设定于曝光装置的光学系统的受光区域。

7.根据权利要求1至4的任意一项所述的曝光用光源模块单元，其特征在于，

针对从所述单位紫外线发光元件到受光区域A为止的光学距离“a”，从经过位于所述光源面板上的紫外线发光元件阵列中心O的基准中心轴线侧间隔开的紫外线发光元件的间隔距离“b”、所述单位紫外线发光元件和所述第一光学面板的聚光透镜的相面对的面的间隔距离“c”、各个所述单位紫外线发光元件的中心轴和所述第一光学面板的聚光透镜的中心轴之间的偏心距离“x”及受光区域A的直径“t”的关系中，所述第一光学面板的聚光透镜的偏心距离“x”的基准设定为满足“x＝b*c/a”，所述“x”的范围设定为满足“bc(2b-t)/2abxbc(2b+t)/2ab”。