[发明专利]玻璃膜的制造方法

说明书

玻璃膜(G)的搬运装置(14)具备支承切断后的玻璃膜(G)的第一部分(Gc)的第一支承部(21)、支承玻璃膜(G)的第二部分(Gd)的第二支承部(22)、以及在第一支承部(21)与第二支承部(22)之间设置在激光照射装置(19)的下方位置的开口部(23)。在玻璃膜(G)的切断工序中，在开口部(23)使玻璃膜(G)以向下方凸出的方式变形，并且在开口部(23)的范围内以与玻璃膜(G)的顶部(GT)不一致的方式照射由激光照射装置(19)产生的激光(LB)。

技术领域

本发明涉及制造例如能够呈卷状卷绕的玻璃膜的方法。

背景技术

众所周知，液晶显示器、等离子体显示器以及有机EL显示器等平板显示器(FPD)中使用的板玻璃、有机EL照明中使用的板玻璃、作为触摸面板的构成要素的强化玻璃等的制造中使用的玻璃板、以及太阳电池的面板等中使用的玻璃板的薄壁化日益推进。

例如在专利文献1中，公开了厚度为几百μm以下的玻璃膜(薄板玻璃)。这种玻璃膜通常如在该文献所记载那样通过采用所谓的溢流下拉法的成形装置来连续成形。

通过溢流下拉法连续成形的长条的玻璃膜例如在其搬运方向从铅垂方向转换为水平方向后，通过搬运装置的横向搬运部(水平搬运部)继续向下游侧搬运。在该搬运途中，玻璃膜的宽度方向两端部(耳部)被切断除去。之后，玻璃膜通过卷绕辊呈卷状卷绕，从而构成为玻璃卷。

作为将玻璃膜的宽度方向两端部切断的技术，在专利文献1中公开了激光切割。在激光切割中，在通过金刚石刀具等裂纹形成机构在玻璃膜形成初始裂纹后，向该部分照射激光进行加热，之后，通过冷却机构对被加热了的部分进行冷却，利用在玻璃膜产生的热应力而使初始裂纹发展而将玻璃膜切断。

作为其他切断方法，可以使用向玻璃膜照射激光而将其一部分熔断的激光熔断。如图10A以及图11所示，在激光熔断中，一边通过搬运装置101将玻璃膜G沿规定的方向(在图11中用附图标记X表示的方向)搬运，一边向玻璃膜G的规定位置(照射位置)O照射激光照射装置102的激光LB。

搬运装置101具备分离地配置的第一搬运体101a以及第二搬运体101b。激光LB的照射位置O设置在第一搬运体101a与第二搬运体101b之间。向玻璃膜G喷吹辅助气体AG，以使熔融玻璃不飞溅且使熔融的玻璃不作为渣滓而残留。

如图10B所示，通过激光LB的照射，玻璃膜G被熔断为第一部分G1和第二部分G2。通过该熔断而产生的熔融玻璃G3向第一搬运体101a与第二搬运体101b之间的空间掉落，并在其下方位置被回收。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-240883号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，本发明者为了利用激光熔断将玻璃膜高精度地切断而深入研究的结果是，发现了以下的问题。即，如图10A所示，在将玻璃膜G的宽度方向Y上的第一搬运体101a与第二搬运体101b的距离设为L时，向第一搬运体101a与第二搬运体101b的中间位置(与各搬运体101a、101b相距L/2的位置)照射激光LB。于是，如图11所示，发现熔断部分103未形成为直线状，而以蜿蜒行进的方式形成。若像这样熔断部分103蜿蜒行进，则无法得到精度高的切断面。

本发明是鉴于上述的情况而完成的，其目的在于提供能够利用激光熔断将玻璃膜高精度地切断的玻璃膜的制造方法。

用于解决课题的方案