[发明专利]成膜掩模、其制造方法及成膜掩模的修复方法

权利要求书

1.一种成膜掩模，其特征在于，具备：

掩模片，其在设置有多个开口图案的薄膜层上层叠设置有内包至少一个所述开口图案的多个贯通孔的金属层，并且，将一个面区划成包含多个所述开口图案及贯通孔的多个单位单元；

金属制的支承部件，其与没有外在张力状态的所述掩模片的所述金属层接合而支承该所述掩模片，且与所述掩模片的所述单位单元相对应地具有开口部，

所述金属层以相对于基板产生拉伸内部应力的条件镀敷形成于密合保持于所述基板的所述薄膜层上，

所述支承部件与存在所述拉伸内部应力的所述金属层接合。

2.根据权利要求1所述的成膜掩模，其特征在于，所述掩模片的所述金属层和所述支承部件的接合，至少在所述开口部的周边部激光点焊而进行。

3.根据权利要求1所述的成膜掩模，其特征在于，在所述金属层上，沿着所述单位单元的周缘部设置有用于将相邻的单位单元相互分离的孔眼。

4.根据权利要求2所述的成膜掩模，其特征在于，在所述金属层上，沿着所述单位单元的周缘部设置有用于将相邻的单位单元相互分离的孔眼。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的成膜掩模，其特征在于，所述支承部件是设置有多个开口部的片状部件。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的成膜掩模，其特征在于，

所述支承部件将多个带状部件以所述金属层侧呈齐平面的方式在至少一个方向上平行地排列而构成，将被相邻的所述带状部件夹持的部分设为所述开口部。

7.根据权利要求5所述的成膜掩模，其特征在于，

所述支承部件将多个带状部件以所述金属层侧呈齐平面的方式在至少一个方向上平行地排列而构成，将被相邻的所述带状部件夹持的部分设为所述开口部。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的成膜掩模，其特征在于，与所述支承部件相接合地设置有框状的框架。

9.根据权利要求5所述的成膜掩模，其特征在于，与所述支承部件相接合地设置有框状的框架。

10.根据权利要求6所述的成膜掩模，其特征在于，与所述支承部件相接合地设置有框状的框架。

11.根据权利要求7所述的成膜掩模，其特征在于，与所述支承部件相接合地设置有框状的框架。

12.一种成膜掩模的制造方法，其特征在于，进行如下工序：

形成掩模片的工序，依次层叠有密合保持于透明基板上且设置有多个开口图案的薄膜层、和以相对于所述透明基板产生拉伸内部应力的条件镀敷形成于该所述薄膜层上且设置有内包至少一个所述开口图案的多个贯通孔的金属层而形成，并且，将一个面区划成包含多个所述开口图案及贯通孔的多个单位单元；

接合金属制的支承部件的工序，将与所述单位单元相对应地具有开口部的所述支承部件接合在没有外在张力状态的所述掩模片的所述金属层上；

将所述透明基板从所述掩模片剥离的工序。

13.一种成膜掩模的制造方法，其特征在于，进行如下工序；

形成掩模片的工序，依次层叠有密合保持于透明基板上的薄膜层、和以相对于所述透明基板产生拉伸内部应力的条件镀敷形成于该所述薄膜层上且设置有多个贯通孔的金属层而形成，并且，将一个面区划成包含多个所述贯通孔的多个单位单元；

接合金属制的支承部件的工序，将与所述单位单元相对应地具有开口部的所述支承部件接合在没有外在张力状态的所述掩模片的所述金属层上；

将所述透明基板从所述掩模片剥离的工序；

从所述金属层侧对所述掩模片照射激光，在所述贯通孔内的薄膜层形成至少一个开口图案的工序。