[发明专利]用于超细颗粒尺寸检测的激光传感器

权利要求书

1.一种用于检测超细颗粒的激光传感器模块(100)，所述超细颗粒具有300nm或更小的颗粒尺寸，所述激光传感器模块(100)包括：

-至少一个激光器(110)，其适于对由至少一个电驱动器(130)提供的信号做出反应而将激光发射到至少一个聚焦区域，

-至少一个检测器(120)，其适于确定所述至少一个激光器(110)的激光腔内的光波的自混合干涉信号，其中，所述自混合干涉信号是由重新进入所述激光腔的反射激光引起的，所述反射激光是由接收所述激光的至少部分的颗粒反射的，

-所述激光传感器模块(100)被布置为执行至少一次自混合干涉测量，其特征在于：

-所述激光传感器模块(100)适于确定第一颗粒尺寸分布函数，其中，所述第一颗粒尺寸分布函数借助于基于所述至少一次自混合干涉测量而确定的至少一个测量结果由相对于颗粒尺寸检测的第一灵敏度来表征，所述激光传感器模块还适于确定第二颗粒尺寸分布函数，其中，所述第二颗粒尺寸分布函数由相对于颗粒尺寸检测的第二灵敏度来表征，所述第二灵敏度不同于所述第一灵敏度，其中，所述第一灵敏度或所述第二灵敏度被选取为使得小于定义的阈值颗粒尺寸的颗粒不被检测到，所述定义的阈值颗粒尺寸为300nm或更小，其中，所述第一颗粒尺寸分布函数和所述第二颗粒尺寸分布函数在利用校准因子q缩放的所述定义的阈值颗粒尺寸之上具有基本相同的形状，

-至少一个评价器(140)，其适于通过从所述第一颗粒尺寸分布函数中减去与所述校准因子q相乘的所述第二颗粒尺寸分布函数来确定300nm或更小的所述颗粒尺寸的颗粒度量。

2.根据权利要求1所述的激光传感器模块(100)，所述超细颗粒具有200nm或更小的颗粒尺寸。

3.根据权利要求1所述的激光传感器模块(100)，所述超细颗粒具有100nm或更小的颗粒尺寸。

4.根据权利要求1所述的激光传感器模块(100)，所述激光传感器模块适于借助于基于所述至少一次自混合干涉测量而确定的所述至少一个测量结果来确定所述第二颗粒尺寸分布函数。

5.根据权利要求4所述的激光传感器模块(100)：

-所述至少一个评价器(140)适于通过将第一阈值应用于基于所述至少一次自混合干涉测量而确定的测量结果来提供所述第一灵敏度，所述至少一个评价器(140)还适于借助于所述测量结果和所述第一阈值来确定所述第一颗粒尺寸分布函数，

-所述至少一个评价器(140)还适于通过将第二阈值应用于基于所述至少一次自混合干涉测量而确定的所述测量结果来提供所述第二灵敏度，所述第二阈值不同于所述第一阈值，所述至少一个评价器(140)还适于借助于所述测量结果和所述第二阈值来确定所述第二颗粒尺寸分布函数。

6.根据权利要求4所述的激光传感器模块(100)：

-所述激光传感器模块(100)被布置为以所述第一灵敏度来执行第一自混合干涉测量，

-所述激光传感器模块(100)还被布置为以所述第二灵敏度来执行第二自混合干涉测量，

-所述至少一个评价器(140)适于借助于基于所述第一自混合干涉测量而确定的第一测量结果来确定所述第一颗粒尺寸分布函数，所述至少一个评价器(140)还适于借助于基于所述第二自混合干涉测量而确定的第二测量结果来确定所述第二颗粒尺寸分布函数。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的激光传感器模块(100)，其中，所述激光传感器模块(100)包括用于将所述激光聚焦到所述至少一个聚焦区域的光学设备(150)，所述光学设备由至少0.06的数值孔径来表征。

8.根据权利要求7所述的激光传感器模块(100)，其中，所述光学设备由至少0.2的数值孔径来表征。

9.根据权利要求7所述的激光传感器模块(100)，其中，所述光学设备由至少0.3的数值孔径来表征。